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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EMD | 2013-10-18 13:30 |
神奈川 | NTT厚木研究開発センタ | ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性 ○内山田博三・大石竜生・森 龍斗・高橋大紀・大石健太郎・梅村 茂（千葉工大）・廣野 滋（MESアフティー）・鎌田智之・丹羽 修（産総研）  EMD2013-70 |
[more] | EMD2013-70 pp.1-4 |
| EMD | 2009-12-18 14:30 |
千葉 | 千葉工業大学 津田沼キャンパス | フッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜の摩擦特性 ○鈴木 学・鎌田智之・東峰裕輔・昼間 峻・梅村 茂（千葉工大）・廣野 滋（MESアフティ）・東原秀和・沖野不二雄・服部義之（信州大）・丹羽 修（産総研）・刀 東風（西安交通大） EMD2009-109 |
筆者らは，ECRスパッタ法によって，導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した．このフッ素添加ECRス... [more] | EMD2009-109 pp.17-20 |
| EMD | 2009-12-18 14:55 |
千葉 | 千葉工業大学 津田沼キャンパス | 金属－カーボン系薄膜の電気的・機械的性質 ○松本 宏・鎌田智之・梅村 茂（千葉工大）・矢部光範（日本自動車大）・廣野 滋（MESアフティ）・丹羽 修（産総研）・刀 東風（西安交通大） EMD2009-110 |
金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として，RFスパッタ法によって成膜したNiドープ... [more] | EMD2009-110 pp.21-24 |
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