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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2023-11-09 13:10 |
東京 | 機械振興会館 5階 5S-2 会議室 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［招待講演］最先端ロジックデバイスの最新動向とプロセス技術 ○山本知成（東京エレクトロン）  SDM2023-64 |
[more] | SDM2023-64 pp.8-9 |
| IMQ, IE, MVE (共催) CQ (併催) [詳細] |
2023-03-17 10:45 |
沖縄 | 沖縄県青年会館（那覇市） （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Wiped-Rate Estimation for Semiconductor Manufacturing Using DNN Based on 3D Body Tracking ○Takehiro Nagata（Univ. of Tsukuba）・Li-Wei Cheng（NCKU）・Hidehiko Shishido（Univ. of Tsukuba）・Hyejin Kim・Chanya Mahapun・Naoki Yoshii・Tsuyoshi Moriya（TEL）・Itaru Kitahara（Univ. of Tsukuba） IMQ2022-67 IE2022-144 MVE2022-97 |
[more] | IMQ2022-67 IE2022-144 MVE2022-97 pp.235-240 |
| SDM | 2020-02-07 11:20 |
東京 | 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室（419号室) | ［招待講演］高精度デュアルダマシン加工技術 藤川 誠・山口達也（TTS）・菊地裕樹・前川 薫（TEL Technology Center, America）・河崎洋章・○飯塚洋二（東京エレクトロン） SDM2019-92 |
Abstract— Plasma induced damage on porous low-k dielectrics ... [more] | SDM2019-92 pp.21-23 |
| SDM | 2019-02-07 10:05 |
東京 | 東京大学/本郷 工学部４号館 42講義室 | ［招待講演］高精度デュアルダマシン加工技術 ○早川 崇・藤川 誠（東京エレクトロン）・野沢秀二・山口達也（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ） |
[more] | |
| SDM | 2017-02-06 11:15 |
東京 | 東京大学/本郷 | ［招待講演］低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成 ○中塚 理（名大）・渡部佳優（東京エレクトロン）・鈴木陽洋（名大）・西 義雄（Stanford大）・財満鎭明（名大） SDM2016-141 |
[more] | SDM2016-141 pp.11-15 |
| SDM | 2015-10-30 09:30 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］マイクロ波励起プラズマによる立体構造体への等方均一注入技術 ○上田博一（TEL TDC）・ピーター ベントゼック（TEL AMERICA）・岡 正浩・小林勇気・杉本靖広・川上 聡（TEL TDC） SDM2015-76 |
Si FIN 構造体へのコンフォーマル砒素ドーピング形成をRLSATMマイクロ波プラズマと650～850度程度の低温熱処... [more] | SDM2015-76 pp.29-33 |
| LOIS, IPSJ-DC (共催) |
2006-07-28 14:05 |
山形 | 山形大学工学部 | Web技術を悪用する攻撃に対するサーバ側セキュリティ要件 ○松永 豊（東京エレクトロン）・大場みち子（日立） |
Web技術を悪用したサーバ攻撃が急増しており, サイト閉鎖や個人情報漏洩, 金銭的被害が実際に発生している．Webフォー... [more] | OIS2006-17 pp.47-53 |
| SIP, ICD, IE, IPSJ-SLDM (共催) |
2005-10-21 15:50 |
宮城 | 作並温泉一の坊 | キャラクタプロジェクション法のためのセルライブラリ開発手法 ○杉原 真（九州システム情報技研）・高田大河・中村健太（九大）・稲浪良市（イービーム）・林 博昭（東京エレクトロン）・岸本克己（イービーム）・長谷部鉄也（東京エレクトロン）・河野幸弘（イービーム）・松永裕介・村上和彰（九大）・奥村勝弥（東大） |
本稿では，電子ビーム直描で用いられるキャラクタプロジェクション法のスループットを向上するセルライブラリ開発手法について議... [more] | SIP2005-128 ICD2005-147 IE2005-92 pp.79-84 |
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