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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2021-06-22
13:10
ONLINE オンライン開催 [記念講演]イソプロピルアルコールを用いた金属銅及び酸化銅上の表面改質
間脇武蔵東北大)・寺本章伸広島大)・石井勝利東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・志波良信諏訪智之東北大)・東雲秀司清水 亮梅澤好太東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・黒田理人白井泰雪須川成利東北大
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SDM 2020-10-22
14:50
ONLINE オンライン開催 IPAを用いた銅・酸化銅上の表面改質
間脇武蔵東北大)・寺本章伸広島大)・石井勝利東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・志波良信諏訪智之東北大)・東雲秀司清水 亮梅澤好太東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・黒田理人白井泰雪須川成利東北大SDM2020-19
半導体製造工程における銅配線上での選択的形成プロセスに向けて,イソプロピルアルコール(IPA)を用いた酸化銅の還元反応と... [more] SDM2020-19
pp.25-29
SDM 2020-02-07
11:20
東京 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室(419号室) [招待講演]高精度デュアルダマシン加工技術
藤川 誠山口達也TTS)・菊地裕樹前川 薫TTCA)・河崎洋章・○飯塚洋二東京エレクトロンSDM2019-92
Abstract— Plasma induced damage on porous low-k dielectrics ... [more] SDM2019-92
pp.21-23
SDM 2019-02-07
10:05
東京 東京大学/本郷 工学部4号館 42講義室 [招待講演]高精度デュアルダマシン加工技術
早川 崇藤川 誠東京エレクトロン)・野沢秀二山口達也東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ
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