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すべての研究会開催スケジュール (検索条件: すべての年度)
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2023-02-07 10:45 |
東京 | 東京大学 武田ホール （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［招待講演］先端3D構造ロジック・メモリデバイスにおける原子層等方加工技術 ○大竹浩人（日立ハイテクノロジーズ）  SDM2022-86 |
2nm以降のLogicデバイスや100層以上のNANDデバイスにおいて、原子層等方加工技術(Isotropic Atom... [more] | SDM2022-86 pp.5-8 |
| LOIS, ICM (共催) |
2020-01-09 13:25 |
長崎 | アルカスSASEBO（佐世保市） | 常備倉庫ピッキング作業の効率向上に関する検討 ○米川 輝（日立）・諸熊秀俊・山本和己・佛本慶祐（日立ハイテクノロジーズ） ICM2019-31 LOIS2019-46 |
[more] | ICM2019-31 LOIS2019-46 pp.7-12 |
| SDM | 2010-02-05 16:45 |
東京 | 機械振興会館 | Cu／Low-k配線パターンのラインエッジラフネス評価 ○山口敦子・龍崎大介・武田健一（日立）・川田洋揮（日立ハイテクノロジーズ） SDM2009-192 |
Cu/low-k配線パターンのラインエッジラフネス（LER）評価方法を確立するため，レジスト，low-k，Cu/low-... [more] | SDM2009-192 pp.59-63 |
| EMCJ | 2010-01-22 09:05 |
沖縄 | 琉球大学50周年記念館 | 電子ビーム静電偏向システムの低ノイズ方式設計 ○李 ウェン・幕内雅巳・今川健吾（日立）・高橋弘之・大南祐介・郡司康弘（日立ハイテクノロジーズ） EMCJ2009-111 |
電子やイオン等の荷電粒子ビームを用いた半導体製造・検査・計測装置および電子顕微鏡等の分析装置では，高速・高精度なビーム偏... [more] | EMCJ2009-111 pp.75-80 |
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