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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, ED
(共催)
2009-06-25
12:00
海外 海雲台グランドホテル(釜山、韓国) Study on Compositional Transition Layers at Gate Dielectrics/Si Interface by using Angle-resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy
Tomoyuki SuwaTohoku Univ.)・Takashi ArataniShin-Etsu Chemical)・Masaaki HiguchiTOSHIBA)・Sigetoshi SugawaTohoku Univ.)・Eiji IkenagaJASRI)・Jiro UshioHitachi)・Hiroshi NohiraMusashi Inst. of Tech.)・Akinobu TeramotoTadahiro OhmiTakeo HattoriTohoku Univ.ED2009-86 SDM2009-81
 [more] ED2009-86 SDM2009-81
pp.157-160
OME, SDM
(共催)
2009-04-24
15:10
佐賀 産総研九州センター大会議室 塗布型有機薄膜トランジスタにおける絶縁膜表面SAM処理の検討
堀井美徳産総研/鳥取大)・井川光弘坂口幸一近松真之吉田郵司阿澄玲子産総研)・茂木 弘科学技術推進機構/信越化学)・北川雅彦小西久俊鳥取大)・八瀬清志産総研SDM2009-3 OME2009-3
ポリ(3-ヘキシルチオフェン)(P3HT)薄膜トランジスタ(TFT)のSiO_2ゲート絶縁膜表面の自己組織化単分子膜(S... [more] SDM2009-3 OME2009-3
pp.9-14
SDM 2008-10-10
16:15
宮城 東北大学 角度分解光電子分光法によるゲート絶縁膜/シリコン基板界面に形成される構造遷移層に関する研究
諏訪智之東北大)・荒谷 崇信越化学)・樋口正顕東芝)・須川成利東北大)・池永英司高輝度光科学研究センター)・牛尾二郎日立)・野平博司武蔵工大)・寺本章伸大見忠弘服部健雄東北大SDM2008-167
研究は、Si(100)、Si(111)、Si(110)基板上にNHラジカルにより形成したシリコン窒化膜について、軟X線励... [more] SDM2008-167
pp.69-74
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