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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2017-10-26
10:20
宮城 東北大学未来研 紫外吸光とチャージアンプ回路を用いた高感度・小型リアルタイムガス濃度計
石井秀和東北大)・永瀬正明池田信一フジキン)・志波良信白井泰雪黒田理人須川成利東北大SDM2017-56
半導体,パワーデバイス,LED,ディスプレイ等の電子デバイス製造プロセスにおいて,濃度制御製が困難な有機金属ガスが使用さ... [more] SDM2017-56
pp.35-38
SDM 2015-10-30
15:30
宮城 東北大学未来研 高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討
杉田久哉幸田安真諏訪智之黒田理人後藤哲也石井秀和東北大)・山下 哲フジキン)・寺本章伸須川成利大見忠弘東北大SDM2015-83
 [more] SDM2015-83
pp.63-68
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