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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
HWS 2018-04-13
11:35
福岡 九州大学医学部 百年講堂 白色干渉計を用いた光学的3Dナノ人工物メトリクス
吉田直樹横浜国大)・上羽陽介西尾俊平大八木康之大日本印刷)・法元盛久コンパス・トゥーワン)・竪 直也九大)・成瀬 誠NICT)・松本 勉横浜国大HWS2018-3
ナノメートルオーダのランダムな凹凸の表面を有するナノ人工物を,白色干渉計によって得られる干渉画像を用いて認証する人工物メ... [more] HWS2018-3
pp.11-16
HWS 2018-04-13
15:00
福岡 九州大学医学部 百年講堂 ドレイン電流によるMOSFETに埋め込まれたナノ構造のサイズと位置の識別
清水克真北大)・上羽陽介北村 満大八木康之大日本印刷)・法元盛久コンパス・トゥーワン)・竪 直也九大)・成瀬 誠NICT)・松本 勉横浜国大)・葛西誠也北大HWS2018-7
レジスト倒壊現象を利用したナノ人工物メトリクスは高い耐クローン性を有する優秀な物理メトリクスとして期待されているが,利用... [more] HWS2018-7
pp.35-39
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