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 13件中 1~13件目  /   
研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
LQE, OPE, CPM, EMD, R
(共催)
2019-08-22
16:45
宮城 東北大学 電気通信研究 本館オープンセミナールーム(M153) [招待講演]3Dフラッシュメモリセルの信頼性とその課題
三谷祐一郎関 春海浅野孝典中崎 靖東芝メモリR2019-26 EMD2019-24 CPM2019-25 OPE2019-53 LQE2019-31
膨大な情報量を保存するためにフラッシュメモリの大容量化がすすめられており、現在はメモリセルが縦方向に積層され3次元化され... [more] R2019-26 EMD2019-24 CPM2019-25 OPE2019-53 LQE2019-31
pp.35-38
SDM, ICD
(共催)
ITE-IST
(連催) [詳細]
2019-08-09
13:25
北海道 北海道大学 情報科学院 3F A31 [招待講演]テラビット大容量応用に向けたAgイオンメモリセルアレイ実証
市原玲華藤井章輔今野拓也山口まりな関 春海田中洋毅趙 丹丹吉村瑶子齋藤真澄小山正人東芝メモリSDM2019-50 ICD2019-15
テラビットクラスの大容量応用に有望なAgイオンメモリセルを開発し、クロスポイントアレイ動作を実証した。母材SiO2中に大... [more] SDM2019-50 ICD2019-15
pp.85-88
SDM 2019-06-21
13:30
愛知 名古屋大学 VBL3F [依頼講演]電子デバイスから見た 2D/3D ナノ計測の必要性 ナノ計測の必要性
臼田宏冶東芝メモリSDM2019-29
 [more] SDM2019-29
p.21
SDM 2019-02-07
10:45
東京 東京大学/本郷 工学部4号館 42講義室 [招待講演]ナノインプリントによるハーフピッチ14nm直接パターニング
中杉哲郎東芝メモリSDM2018-91
本稿ではIEDM2018で報告したNILシングル露光によるhp14nmパターン形成技術について報告する。従来課題とされて... [more] SDM2018-91
pp.1-4
SDM 2019-01-29
14:50
東京 機械振興会館 [招待講演]ナノインプリントによるハーフピッチ14nm直接パターニング
中杉哲郎東芝メモリSDM2018-88
本稿ではIEDM2018で報告したNILシングル露光によるhp14nmパターン形成技術について報告する。従来課題とされて... [more] SDM2018-88
pp.31-34
VLD, DC, IPSJ-SLDM, IPSJ-EMB
(連催)
CPSY, IPSJ-ARC
(連催)
CPM, ICD, IE
(共催)
RECONF
(併催) [詳細]
2018-12-07
14:10
広島 サテライトキャンパスひろしま 0-1二次計画法によるプロセスばらつきを考慮したモデルベースマスク補正手法
東 梨奈小平行秀会津大)・松井知己高橋篤司東工大)・児玉親亮野嶋茂樹東芝メモリVLD2018-70 DC2018-56
半導体製造における回路パターンの限界寸法の縮小のため,光リソグラフィによる半導体加工技術の進歩が求められている.光リソグ... [more] VLD2018-70 DC2018-56
pp.209-214
SDM 2018-11-08
13:30
東京 機械振興会館 [招待講演]先端半導体素子信頼性のデバイスシミュレーション
石原貴光松澤一也内藤 毅吉富貞幸東芝メモリSDM2018-67
 [more] SDM2018-67
pp.17-22
PRMU, IBISML
(共催)
IPSJ-CVIM
(連催) [詳細]
2018-09-21
13:30
福岡 福岡工業大学 ベイズ最適化を用いたシミュレーションモデルのキャリブレーション効率化
桐淵大貴西川武一郎東芝)・横田 怜楢崎亮太小池 聡東芝メモリPRMU2018-63 IBISML2018-40
実験を良く模擬するシミュレーションを実現するためには、シミュレーションモデルに含まれる多数のパラメータを事前に調整し、シ... [more] PRMU2018-63 IBISML2018-40
pp.195-200
ICD 2018-04-20
11:10
東京 機械振興会館 [招待講演]A 512Gb 3b/Cell 3D Flash Memory on a 96-Word-Line-Layer Technology
Hiroshi MaejimaKazushige KandaSusumu FujimuraTeruo TakagiwaSusumu OzawaJumpei SatoYoshihiko ShindoManabu SatoNaoaki KanagawaJunji MushaSatoshi InoueKatsuaki SakuraiToshifumi HashimotoTMC)・Hao NguyenKen CheahHiroshi SugawaraSeungpil LeeWDC)・Toshiki HisadaTetsuya KanekoHiroshi NakamuraTMCICD2018-10
96層ワードラインのBiCS FLASH技術により、512Gb 3b/cell 3Dフラッシュメモリを開発した。性能改善... [more] ICD2018-10
pp.39-44
SDM 2017-11-10
10:00
東京 機械振興会館 [招待講演]SISPAD 2017 レビュー(2)
来栖貴史東芝メモリSDM2017-67
 [more] SDM2017-67
pp.33-36
VLD, DC, IPSJ-SLDM, IPSJ-EMB
(連催)
CPSY, IPSJ-ARC
(連催)
CPM, ICD, IE
(共催)
RECONF
(併催) [詳細]
2017-11-07
13:00
熊本 くまもと県民交流館パレア [招待講演]機械学習で切り開く新しいリソグラフィ・DFM技術
松縄哲明東芝メモリVLD2017-50 DC2017-56
 [more] VLD2017-50 DC2017-56
p.131
SDM 2017-10-26
09:30
宮城 東北大学未来研 [招待講演]ビックデータの活用によるメモリ製造革新 ~ 半導体製造の歩留解析支援システム ~
赤堀浩史東芝メモリ)・中田康太折原良平水岡良彰高木健太郎東芝)・門多健一西村孝治田中祐加子江口英孝東芝メモリSDM2017-55
半導体製造における歩留解析では,製品の品質検査結果と各工程の処理装置履歴から不良の原因装置を特定し,対策に繋げることで生... [more] SDM2017-55
pp.31-33
ICD 2011-04-18
13:30
兵庫 神戸大学 瀧川記念館 [招待講演]24nmプロセスで製造された151mm2 64Gbit 2bit/cell NAND型フラッシュメモリの開発
福田浩一渡辺慶久牧野英一川上浩一佐藤順平高際輝男金川直晃志賀 仁常盤直哉進藤佳彦枝広俊昭小川武志岩井 信東芝)・櫻井清史東芝メモリシステムズ)・三輪 達サンディスクICD2011-4
14MB/s書き込み、および266MB/sデータ転送が可能な、24nmプロセスを用いた64Gb 2bit/cell NA... [more] ICD2011-4
pp.19-26
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