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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
IMQ, IE, MVE
(共催)
CQ
(併催) [詳細]
2023-03-17
10:45
沖縄 沖縄県青年会館(那覇市)
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
Wiped-Rate Estimation for Semiconductor Manufacturing Using DNN Based on 3D Body Tracking
Takehiro NagataUniv. of Tsukuba)・Li-Wei ChengNCKU)・Hidehiko ShishidoUniv. of Tsukuba)・Hyejin KimChanya MahapunNaoki YoshiiTsuyoshi MoriyaTEL)・Itaru KitaharaUniv. of TsukubaIMQ2022-67 IE2022-144 MVE2022-97
 [more] IMQ2022-67 IE2022-144 MVE2022-97
pp.235-240
SDM 2022-02-04
09:45
ONLINE オンライン開催 [招待講演]SAMを用いた次世代ダマシンインテグレーション
永井洋之岩下光秋菊地裕樹東京エレクトロン)・河崎洋章ギアナ パッタナイクTEL Technology Center, America)・藤田啓一東京エレクトロン九州)・岩井和俊Tokyo Electron America)・小松裕之尾崎優貴JSRSDM2021-75
SAMを用いてCu拡散バリアを絶縁膜上へ選択的に成膜し、Cuダマシン配線を形成した。この構造ではVia底バリアメタルが無... [more] SDM2021-75
pp.5-8
SDM 2020-02-07
11:20
東京 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室(419号室) [招待講演]高精度デュアルダマシン加工技術
藤川 誠山口達也TTS)・菊地裕樹前川 薫TEL Technology Center, America)・河崎洋章・○飯塚洋二東京エレクトロンSDM2019-92
Abstract— Plasma induced damage on porous low-k dielectrics ... [more] SDM2019-92
pp.21-23
SDM 2019-02-07
10:05
東京 東京大学/本郷 工学部4号館 42講義室 [招待講演]高精度デュアルダマシン加工技術
早川 崇藤川 誠東京エレクトロン)・野沢秀二山口達也東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ
 [more]
SDM 2017-02-06
11:15
東京 東京大学/本郷 [招待講演]低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成
中塚 理名大)・渡部佳優東京エレクトロン)・鈴木陽洋名大)・西 義雄Stanford大)・財満鎭明名大SDM2016-141
 [more] SDM2016-141
pp.11-15
SDM 2014-02-28
09:30
東京 機械振興会館 [招待講演]大口径中性粒子ビームCVDを用いたノンポーラスULK-SiOCH膜
菊地良幸東京エレクトロン/東北大)・寒川誠二東北大SDM2013-165
 [more] SDM2013-165
pp.1-5
SDM 2013-06-18
15:30
東京 機械振興会館 [依頼講演]SiCパワーMOSFET向け高誘電率ゲート絶縁膜技術
細井卓治阪大)・東雲秀司柏木勇作保坂重敏東京エレクトロン)・中村亮太中野佑紀浅原浩和中村 孝ローム)・木本恒暢京大)・志村考功渡部平司阪大SDM2013-59
 [more] SDM2013-59
pp.77-80
SDM 2006-06-21
14:55
広島 広島大学, 学士会館 低速陽電子ビームを用いたhigh-kゲート絶縁膜の空隙の評価
上殿明良大塚 崇伊東健一白石賢二山部紀久夫筑波大)・宮崎誠一広島大)・梅澤直人知京豊裕物質・材料研究機構)・大平俊行鈴木良一産総研)・犬宮誠治神山 聡半導体先端テクノロジーズ)・赤坂泰志東京エレクトロン)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大
 [more] SDM2006-46
pp.25-30
SIP, ICD, IE, IPSJ-SLDM
(共催)
2005-10-21
15:50
宮城 作並温泉一の坊 キャラクタプロジェクション法のためのセルライブラリ開発手法
杉原 真九州システム情報技研)・高田大河中村健太九大)・稲浪良市イービーム)・林 博昭東京エレクトロン)・岸本克己イービーム)・長谷部鉄也東京エレクトロン)・河野幸弘イービーム)・松永裕介村上和彰九大)・奥村勝弥東大
本稿では,電子ビーム直描で用いられるキャラクタプロジェクション法のスループットを向上するセルライブラリ開発手法について議... [more] SIP2005-128 ICD2005-147 IE2005-92
pp.79-84
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