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電子部品・材料研究会 (CPM)
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研究会
発表日時
開催地
タイトル・著者
抄録
資料番号
CPM
2006-11-09
13:30
石川
金沢大学
スパッタ法によるAZO薄膜の作製
○
川上 歩
・
野口 亨
・
東出陽幸
・
宮崎紳介
・
清水英彦
・
丸山武男
・
岩野春男
・
川上貴浩
(
新潟大
)・
星 陽一
(
東京工芸大
)
[more]
CPM2006-113
pp.1-5
CPM
2006-11-09
13:55
石川
金沢大学
プラスチック基板上へのITO薄膜の作製
○
竹内正樹
・
森下和哉
・
梅津 岳
・
中田悠介
・
宮崎紳介
・
清水英彦
・
丸山武男
・
岩野春男
・
川上貴浩
(
新潟大
)・
星 陽一
(
東京工芸大
)・
皆川正寛
(
日本精機
)
[more]
CPM2006-114
pp.7-11
CPM
2006-11-09
14:20
石川
金沢大学
RFマグネトロンスパッタ法によるCr2O3薄膜の作製
○
浅田 毅
・
長瀬研二朗
・
山田貴之
・
岩田展幸
・
山本 寛
(
日大
)
[more]
CPM2006-115
pp.13-18
CPM
2006-11-09
14:45
石川
金沢大学
Ni/Mo層上におけるカーボンナノチューブの成長制御
○
奥山博基
・
岩田展幸
・
山本 寛
(
日大
)
[more]
CPM2006-116
pp.19-24
CPM
2006-11-09
15:20
石川
金沢大学
RF-MBE法により成長したAlInN薄膜のCL測定による評価
○
味村 裕
・
寺嶋 亘
(
千葉大
)・
崔 成伯
・
石谷善博
・
吉川明彦
(
千葉大/JST
)
[more]
CPM2006-117
pp.25-30
CPM
2006-11-09
15:45
石川
金沢大学
反応性スパッタ法によるAlN薄膜の作製とLD用サブマウントへの応用
○
塩野晃宏
・
中久木政秀
・
小林勲生
・
山上朋彦
・
林部林平
(
信州大
)・
小畑元樹
(
シチズンファインテック
)・
阿部克也
・
上村喜一
(
信州大
)
[more]
CPM2006-118
pp.31-35
CPM
2006-11-09
16:10
石川
金沢大学
Cu/ZrN/SiOC/Si構造の熱的安定性と界面モフォロジーの検討
○
野矢 厚
・
佐藤 勝
・
武山真弓
(
北見工大
)・
青柳英二
(
東北大
)
[more]
CPM2006-119
pp.37-40
CPM
2006-11-09
16:35
石川
金沢大学
Cu配線のためのラジカル反応を用いた極薄TiNxバリヤの新規作製方法の検討
○
武山真弓
・
柳田賢善
・
野矢 厚
(
北見工大
)
[more]
CPM2006-120
pp.41-46
CPM
2006-11-09
17:00
石川
金沢大学
HW法により成膜された極薄HfNx膜のCu/SiO2及びCu/SiOC間のバリヤ特性
○
佐藤 勝
・
武山真弓
・
野矢 厚
(
北見工大
)
[more]
CPM2006-121
pp.47-52
CPM
2006-11-10
09:00
石川
金沢大学
IBS法による歪Si作製に向けた歪緩和SiGeの表面ラフネス制御
○
山本 純
・
坂口勇太
・
成瀬公博
・
佐々木公洋
(
金沢大
)
[more]
CPM2006-122
pp.53-57
CPM
2006-11-10
09:25
石川
金沢大学
劣化エピタキシャル成長したSiGe薄膜の熱電性能 ~ 基板の影響 ~
○
的場彰成
・
早平寿夫
・
都築崇博
・
佐々木公洋
(
金沢大
)・
岡本庸一
・
守本 純
(
防衛大
)
[more]
CPM2006-123
pp.59-63
CPM
2006-11-10
09:50
石川
金沢大学
SiC埋め込み型Geナノドット構造を目指した高密度ナノドット形成
○
金丸哲史
・
荻原智明
・
安井寛治
・
赤羽正志
・
高田雅介
(
長岡技科大
)
[more]
CPM2006-124
pp.65-70
CPM
2006-11-10
10:15
石川
金沢大学
MOVPE成長したInN膜の成長中劣化現象
○
杉田憲一
・
宝珍禎則
・
橋本明弘
・
山本暠勇
(
福井大
)
[more]
CPM2006-125
pp.71-74
CPM
2006-11-10
10:50
石川
金沢大学
制限反応スパッタ法によるZrO2薄膜作製における成長遅れ時間
○
杉山英孝
・
小島述央
・
山岸大朗
・
周 英
・
佐々木公洋
(
金沢大
)
[more]
CPM2006-126
pp.75-79
CPM
2006-11-10
11:15
石川
金沢大学
酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の作製装置
○
千葉 忍
(
金沢大/CBC
)・
佐々木公洋
(
金沢大
)・
元木 詮
(
CBC
)・
畑 朋延
(
JST
)・
伊藤昭彦
(
芝浦メカトロニクス
)
[more]
CPM2006-127
pp.81-86
CPM
2006-11-10
11:40
石川
金沢大学
スパッタ法で作製されたNiCr薄膜の構造と抵抗温度係数(TCR)特性に及ぼす基板表面あらさの影響
○
岩坪 聡
・
清水孝晃
(
富山県工技センター
)
[more]
CPM2006-128
pp.87-92
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