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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2022-11-10 14:00 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］CrSi薄膜の電気特性のモデリング ○園田賢一郎・白石信仁・前川和義・伊藤 望・長谷川英司・緒方 完（ルネサス エレクトロニクス）  SDM2022-67 |
アニール時の相変化と結晶粒成長を考慮してCrSi 薄膜の電気抵抗をモデル化した．結晶粒界を含む複数の材料と結晶相からなる... [more] | SDM2022-67 pp.14-18 |
| SDM | 2022-10-19 14:30 |
ONLINE | オンライン開催に変更 | CrSiC薄膜抵抗体の微細構造が電気特性に与える影響 ○伊藤 望・前川和義・高橋裕治・利根川 丘（ルネサス エレクトロニクス） SDM2022-59 |
電子機器の小型化の要求を背景に、マイコンとアナログ素子 を 同一 Si基板上へ混載する技術に注目が集まっている。この混載... [more] | SDM2022-59 pp.20-23 |
| SDM | 2022-06-21 17:20 |
愛知 | 名古屋大学 VBL３F | SiO2上へのニッケルシリサイド薄膜形成とその表面形態・結晶相制御 ○木村圭佑・田岡紀之・西村駿介・大田晃生・牧原克典・宮﨑誠一（名大） SDM2022-31 |
金属ナノシート(MNS)を用いたデバイスが検討されているが、SiO2上のMNSの表面形態や結晶相制御についての理解は十分... [more] | SDM2022-31 pp.27-30 |
| MRIS, IEE-MAG (連催) |
2022-03-04 13:00 |
愛知 | 名古屋大学+オンライン開催 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
エピタキシャルMn-Al合金薄膜の構造と磁気特性 ○野呂翔太・大竹 充（横浜国大）・磯上慎二（物質・材料研究機構）・二本正昭・川井哲郎（横浜国大）・桐野文良（東京藝術大）・稲葉信幸（山形大） MRIS2021-16 |
Mn-Al合金膜を，Mn組成を50から72 at. %まで，成長温度を室温から500 °Cまで，膜厚を10から100 n... [more] | MRIS2021-16 pp.1-6 |
| CPM | 2022-03-01 15:40 |
ONLINE | オンライン開催 | SnS光吸収層とMgSnOバッファ層を用いた薄膜太陽電池 ○稲垣賢吾・高野 泰・水野智史（静岡大） CPM2021-80 |
FTO上にsol-gel(ゾルゲル)法で酸化マグネシウムスズ(以下MTO)薄膜を作製した。その上に、真空蒸着法で硫化スズ... [more] | CPM2021-80 pp.31-35 |
| CPM | 2021-10-27 10:10 |
ONLINE | オンライン開催 | ゾルゲル法によるMgZnO及びMgSnO薄膜の作製 真部靖之・水野智史・○高野 泰（静岡大） CPM2021-20 |
MgZnO 薄膜をゾルゲル法により堆積し、その上に Sb2S3 を堆積し太陽電池構造を作製している。またMgSnO薄... [more] | CPM2021-20 pp.1-4 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2021-10-08 13:00 |
ONLINE | オンライン開催 | Fe-Co合金の単結晶薄膜および多結晶厚膜の構造と磁歪特性 ○中村優太・明田俊祐・近藤 輝・大竹 充・川井哲郎・二本正昭（横浜国大）・桐野文良（東京藝術大）・稲葉信幸（山形大） MRIS2021-6 |
大きな磁歪を示すFe-Co合金は磁歪式振動発電デバイスへの応用に向けて注目されている．本研究では，磁歪の基本特性を調べる... [more] | MRIS2021-6 pp.1-5 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2021-10-08 13:25 |
ONLINE | オンライン開催 | Fe-N薄膜におけるγ'相の形成と磁歪 ○前田悠良・今村光佑・大竹 充・川井哲郎・二本正昭（横浜国大）・桐野文良（東京藝術大）・稲葉信幸（山形大） MRIS2021-7 |
反応性スパッタリング法によりMgO単結晶基板上にFe-N薄膜を形成し，基板温度がγ’-Fe4N相の形成に及ぼす影響につい... [more] | MRIS2021-7 pp.6-10 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2021-10-08 14:30 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］スピン軌道相互作用が絡む磁性多層薄膜の第一原理計算と物質設計 ○中村浩次・名和憲嗣（三重大） MRIS2021-8 |
スピン軌道相互作用が絡む磁気・伝導・光物性において、その物理的起源の複雑さのため、所望する物性を引き出す物質設計指針を得... [more] | MRIS2021-8 pp.11-12 |
| SDM, ICD (共催) ITE-IST (連催) [詳細] |
2021-08-18 11:00 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］低電圧動作・低温プロセス・高エンデュランスの極薄膜HfO2系強誘電体の実証 ～ 微細技術ノードの混載メモリへの展開 ～ ○トープラサートポン カシディット・田原建人（東大）・彦坂幸信・中村 亘・齋藤 仁（富士通セミコンダクターメモリソリューション）・竹中 充・高木信一（東大） SDM2021-38 ICD2021-9 |
本研究は、厚さ2.8～9.5 nmをもつHf0.5Zr0.5O2の強誘電体キャパシタの作製プロセス、強誘電特性、およびメ... [more] | SDM2021-38 ICD2021-9 pp.42-47 |
| SDM, OME (共催) |
2021-04-23 15:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［招待講演］多結晶Ge系薄膜のトランジスタ応用 ○都甲 薫（筑波大） SDM2021-4 OME2021-4 |
[more] | SDM2021-4 OME2021-4 pp.15-18 |
| OME | 2020-12-25 13:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
異なる還元方法を用いた還元型酸化グラフェン（rGO）薄膜を使用した抵抗式ガスセンサの作製およびガスセンシング特性の評価 ○髙野晃佑・伊東栄次（信州大）・小野博信・郷田 隼（日本触媒） OME2020-8 |
本研究では酸化グラフェン水分散液から交互吸着法を用いて製膜した還元型酸化グラフェン(rGO)超薄膜の面内方向のシート抵抗... [more] | OME2020-8 pp.1-6 |
| EID, SDM (共催) ITE-IDY (連催) [詳細] |
2020-12-02 12:10 |
ONLINE | オンライン開催 | IGZO薄膜シナプスを用いた脳型システム ○大西祐輝・柴山友輝・山川大樹（龍谷大）・池田裕哉・中島康彦（奈良先端大）・木村 睦（龍谷大/奈良先端大） EID2020-7 SDM2020-41 |
ニューラルネットワークは、将来のエレクトロニクス技術として積極的に研究されてきた。しかし、ノイマン型の算術処理法では大量... [more] | EID2020-7 SDM2020-41 pp.25-28 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| SDM | 2020-10-22 15:20 |
ONLINE | オンライン開催 | 強誘電体薄膜BiFeO3の格子整合とX線構造分析 ○今泉文伸・仲田陸人（小山高専） SDM2020-20 |
強誘電体や圧電材料を用いたデバイス、センサは現在様々な分野で使用されているが、主材料として使われているPb(Zr,Ti)... [more] | SDM2020-20 pp.30-33 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
| SDM, OME (共催) |
2020-04-13 15:20 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （開催中止，技報発行なし） |
［招待講演］多結晶Ge系薄膜のトランジスタ応用 ○都甲 薫（筑波大） |
[more] | |
| OPE (共催) OCS, OFT (併催) [詳細] |
2020-02-28 11:20 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 | SiO2/Ta2O5誘電体多層膜によるヘテロコア構造光ファイバの屈折率測定の性能評価 ○綿貫智美・三上勝広・窪寺昌一・西山道子・渡辺一弘（創価大） OFT2019-67 OPE2019-109 |
本研究グループで提案している，貴金属薄膜によるヘテロコア光ファイバSPRセンサは，共鳴波長における反射率ピークが先鋭であ... [more] | OFT2019-67 OPE2019-109 pp.39-42(OFT), pp.55-58(OPE) |
| EID, ITE-IDY, IEE-EDD (連催) IEIJ-SSL, SID-JC (共催) (連催) [詳細] |
2020-01-23 13:05 |
鳥取 | 鳥取大鳥取キャンパス | ［ポスター講演］c面サファイアおよびSi (111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長 ○名嘉眞朝泰・松下一貴・渡邊泰良・小南裕子・原 和彦（静岡大） |
BCl3とNH3を原料とする減圧化学気相法（CVD）を用いて、c面サファイアおよびSi (111)基板上へ六方晶窒化ホウ... [more] | |
| EID, ITE-IDY, IEE-EDD (連催) IEIJ-SSL, SID-JC (共催) (連催) [詳細] |
2020-01-24 10:10 |
鳥取 | 鳥取大鳥取キャンパス | ［ポスター講演］熱拡散により作製した深紫外発光ZnAl2O4薄膜の膜質評価 ○今川海斗・園田直樹・小南裕子・原 和彦（静岡大） |
スパッタリング法により、サファイア基板上にZnO膜を堆積させ、熱拡散によりZnAl2O4薄膜を作製した。電子線励起発光測... [more] | |
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