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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2013-10-25 11:50 |
新潟 | 新潟大ときめいと | 高密度プラズマ環境下のガスフロースパッタ法によるカーボン薄膜の作製 ○石井琢馬・佐藤祐二・渡邊貴晴・石井 清・佐久間洋志（宇都宮大）  CPM2013-107 |
種々の方式のプラズマCVD法により単結晶を含めて良質なダイヤモンド薄膜が作製できるようになっているが，スパッタ法ではダイ... [more] | CPM2013-107 pp.67-71 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2013-07-12 13:50 |
東京 | 中央大学 | L10型規則構造を持つ強磁性合金薄膜の表面平坦性制御 ○板橋 明・大竹 充（中大）・桐野文良（東京藝術大）・二本正昭（中大） MR2013-7 |
L10構造を持つエピタキシャルFePd，FePt，および，CoPt合金薄膜を超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によ... [more] | MR2013-7 pp.7-12 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2013-03-08 16:40 |
愛知 | 名古屋大学 | (100)立方晶単結晶基板上にエピタキシャル成長した3d強磁性遷移金属薄膜の構造解析 ○大竹 充・二本正昭（中大） MR2012-51 |
3d強磁性遷移金属（Fe，Co，Ni）およびこれらの合金の薄膜をMgO，SrTiO3，および，GaAsの(100)単結晶... [more] | MR2012-51 pp.39-44 |
| OME, IEE-DEI (連催) |
2013-01-24 14:05 |
愛知 | ウィンクあいち | 様々なアクセプタを用いた有機薄膜太陽電池の共蒸発分子誘起結晶化法による光電流向上 ○嘉治寿彦・平本昌宏（分子科学研） |
近年、次世代の低価格太陽電池の候補の一つとして、有機薄膜太陽電池の研究が盛んにされている。 我々は最近、この有機薄膜太... [more] |
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| CPM | 2012-08-09 09:25 |
山形 | 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 | 反応性スパッタによるZrNxナノ結晶バリヤ膜の形成過程 ○佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2012-44 |
Cu多層配線は微細化に伴い、数nmオーダーの膜厚の拡散バリヤ膜が要請され、かつ優れたバリヤ性を実現する必要がある。我々は... [more] | CPM2012-44 pp.45-49 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-27 15:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］連続発振レーザ横方向結晶化法によるガラス基板上SiとSiGe薄膜の成長 ○北原邦紀（島根大）・原 明人（東北学院大） SDM2012-5 OME2012-5 |
連続発振レーザ横方向結晶化（CLC）法によりガラス基板上にSiおよびSiGe薄膜のフロー状成長を実現した．CLCは薄膜ト... [more] | SDM2012-5 OME2012-5 pp.21-26 |
| OME | 2011-12-21 13:55 |
東京 | 機械振興会館 | 静電塗布法による有機薄膜成長過程の実時間その場診断 ○日當大我・猪野智久・福田武司・上野啓司・白井 肇（埼玉大） OME2011-68 |
静電塗布（ESD)法によるPEDOT:PSS製膜初期過程を分光エリプソメトリーによる実時間その場計測により評価した。70... [more] | OME2011-68 pp.11-16 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2011-12-15 16:30 |
愛媛 | 愛媛大学 | MgO単結晶基板上におけるFePt，FePd，CoPt，およびCoPd合金薄膜のエピタキシャル成長 ○大竹 充・大内翔平（中大）・桐野文良（東京藝術大）・二本正昭（中大） MR2011-31 |
超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO単結晶基板上にエピタキシャルFePt，FePd，CoPt，およびCo... [more] | MR2011-31 pp.41-48 |
| CPM | 2011-08-11 09:25 |
青森 | 弘前大学 文京町キャンパス | RFマグネトロンスパッタ法によるAZO透明導電膜の作製 ○梅原 猛・野毛 悟（沼津高専） CPM2011-67 |
RFマグネトロンスパッタ法によるAZO薄膜の成膜条件に関する検討結果について報告する．放電ガスAr中に反応性ガス$O_2... [more] | CPM2011-67 pp.55-60 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2011-07-15 14:50 |
東京 | 中央大学 後楽園キャンパス | GaAs単結晶基板上に形成した準安定bcc構造をもつエピタキシャルCo，Ni，NiFe薄膜の構造解析 ○野中雄介・大竹 充・二本正昭（中大） MR2011-4 |
超高真空RFマグネトロンスパッタ法によりGaAs(100)，(111)，(110)単結晶基板上に40 nm厚のCo，Ni... [more] | MR2011-4 pp.19-26 |
| CPM | 2010-07-30 09:55 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | TDEAV原料を用いたVNx膜のALD成膜 ○武山真弓・佐藤 勝（北見工大）・須藤 弘・町田英明（気相成長）・伊藤 俊・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2010-37 |
Si-ULSIのCu多層配線において、さらなるバリヤ膜の極薄化と低抵抗化が望まれている。一方、我々は先の研究で反応性スパ... [more] | CPM2010-37 pp.35-38 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 11:20 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム ○川畑直之（九大）・黒澤昌志（九大/学振）・佐道泰造・宮尾正信（九大） SDM2010-4 OME2010-4 |
次世代高速薄膜トランジスタ及び高効率薄膜太陽電池の実現には，高移動度や高い光吸収係数を有する新半導体材料(SiGe)薄膜... [more] | SDM2010-4 OME2010-4 pp.13-17 |
| ITE-MMS, MRIS (共催) |
2009-12-11 09:00 |
愛媛 | 愛媛大学 工学部 | MgO単結晶基板上に形成したエピタキシャルCo薄膜の構造解析 ○額賀友理・大竹 充・藪原 穣（中大）・桐野文良（東京藝術大）・二本正昭（中大） MR2009-44 |
超高真空分子線エピタキシー法を用いてMgO単結晶基板上にCo薄膜を形成し，基板結晶方位や基板温度がエピタキシャルCo薄膜... [more] | MR2009-44 pp.51-58 |
| ITE-MMS, MRIS (共催) |
2009-12-11 09:30 |
愛媛 | 愛媛大学 工学部 | hcp-Niおよびhcp-NiFe薄膜のエピタキシャル成長 ○大竹 充・田中孝浩（中大）・桐野文良（東京藝術大）・二本正昭（中大） MR2009-45 |
分子線エピタキシー法によりAu(100)単結晶下地層上にエピタキシャルNiおよびNiFe薄膜を形成し，構造と磁気特性を調... [more] | MR2009-45 pp.59-66 |
| OME | 2009-05-22 11:10 |
東京 | 機械振興会館 | 水晶振動子マイクロバランス法を用いた有機薄膜形成過程の解析 ○伊東卓哉・久保野敦史（静岡大） OME2009-12 |
近年、電気・光学デバイス、保護膜、生体適合膜など幅広い分野で有機薄膜の適用が試みられている。各用途に最適な有機薄膜を作製... [more] | OME2009-12 pp.19-22 |
| OME, SDM (共催) |
2009-04-24 16:15 |
佐賀 | 産総研九州センター大会議室 | アルミニウム誘起層交換法によるSiGe/ガラスの低温成長 ○黒澤昌志・川畑直之・佐道泰造・宮尾正信（九大） SDM2009-5 OME2009-5 |
次世代の高速薄膜トランジスタや高効率薄膜太陽電池の実現には，高キャリア移動度や高吸収係数を有する半導体薄膜をガラス上に形... [more] | SDM2009-5 OME2009-5 pp.19-23 |
| OME, SDM (共催) |
2009-04-24 17:05 |
佐賀 | 産総研九州センター大会議室 | プラズマCVD-Si膜の金属誘起横方向固相結晶化とTFT特性 ○過能慎太郎・永田 翔・中川 豪・浅野種正（九大） SDM2009-7 OME2009-7 |
プラズマCVD法で堆積した非晶質Siを固相結晶化した場合、超高真空法で蒸着した非晶質Si膜の場合に比べ、結晶核の形成とそ... [more] | SDM2009-7 OME2009-7 pp.29-34 |
| ITE-MMS, ITE-CE, MRIS (共催) |
2009-01-15 13:00 |
大阪 | パナソニック 松心会館 | SrTiO3(001)基板上に作製したCo薄膜の構造と磁性 ○白土 優・久富和郎・中谷亮一（阪大） MR2008-50 |
遷移金属の磁性は，結晶構造と密接に関連する．我々は，超薄膜のエピタクシアル成長を利用した非平衡結晶相の創出と，その磁性に... [more] | MR2008-50 pp.1-4 |
| MRIS, ITE-MMS (共催) |
2008-10-09 15:30 |
秋田 | 秋田県産業技術総合センター 秋田県高度技術研究所 | SrTiO3単結晶基板上にエピタキシャルしたFe薄膜の構造と磁気特性 ○田渕健司・田中孝浩・鹿田昂平・大竹 充（中大）・桐野文良（東京藝術大）・二本正昭（中大） MR2008-22 |
3種類の異なる結晶方位を持つSrTiO3単結晶基板上でFe薄膜を形成し，Fe薄膜の構造と磁気特性を調べた．SrTiO3(... [more] | MR2008-22 pp.19-24 |
| SCE | 2008-07-24 13:00 |
東京 | 機械振興会館 | 有機金属分解(MOD)法によるBi-2212/MgO薄膜の作製 渡邉省司・濱中公志・立木 隆・○内田貴司（防衛大） SCE2008-15 |
我々は、テラヘルツ帯で動作する発振器・検出器デバイスへの応用を目指し、MgO基板上へのBi2Sr2CaCu2O8+x（B... [more] | SCE2008-15 pp.1-6 |
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