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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| OPE | 2016-12-08 14:15 |
沖縄 | 石垣市商工会館（沖縄） | シリコン導波路デバイス特性に及ぼす製造ばらつきの影響 ○堀川 剛（光電子融合基盤技研/産総研）・志村大輔・牛田 淳・蘇武洋平・椎名明美・徳島正敏・鄭 錫煥・木下啓藏・最上 徹（光電子融合基盤技研） |
シリコンフォトニクス技術を用いた光集積回路は，長/短距離の情報伝送の広帯域化を可能にするキーデバイスとして注目されている... [more] | |
| VLD, DC (共催) CPM, ICD, IE (共催) CPSY, RECONF (併催) [詳細] |
2016-11-29 10:30 |
大阪 | 立命館大学大阪いばらきキャンパス | ディープラーニングを用いたリソグラフィシミュレーションモデルの高精度化 ○渡辺友希・松縄哲明・木村泰己・野嶋茂樹（東芝）  VLD2016-56 DC2016-50 |
微細な半導体パターンを製造するにあたり，リソグラフィシミュレーションは必要不可欠な技術となっている．高精度なシミュレーシ... [more] | VLD2016-56 DC2016-50 pp.73-78 |
| IBISML | 2016-11-16 15:00 |
京都 | 京都大学 | 半導体露光装置における構造変化検知 ○大坪洋介（ニコン）・杉山 将（理研/東大） IBISML2016-45 |
半導体露光装置は，半導体素子回路のパターンをシリコンウェハに焼き付ける装置であり，高精度な光学系と複数のユニットからなっ... [more] | IBISML2016-45 pp.1-8 |
| SCE | 2016-08-08 11:45 |
埼玉 | 埼玉大(大宮ソニックシティ） | ホーン結合型超伝導力学的インダクタンス検出器の大アレイ化技術の開発 ○木内健司・大谷知行（理研）・小栗秀悟（高エネルギー加速器研究機構）・古谷野 凌（埼玉大）・鈴木惇也（高エネルギー加速器研究機構）・瀬元宗久・田井野 徹（埼玉大）・田島 治・長崎岳人（高エネルギー加速器研究機構）・美馬 覚（理研）・富田 望（東大） SCE2016-15 |
我々は宇宙背景放射の偏光を観測するためにミリ波検出機として、 ホーン結合型の超伝導力学的インダクタンス検出器(MKID... [more] |
SCE2016-15 pp.19-24 |
| AP, SAT, SANE (併催) |
2016-07-21 13:00 |
北海道 | 小樽マリーナ | PTFE充填導波管による180GHz帯E面2分配器とホーンアンテナの試作評価 ○岸原充佳（岡山県立大）・山口明啓・内海裕一・太田 勲（兵庫県立大） AP2016-47 |
放射光エッチングによりPTFEの直接加工を行い，表面に金属を蒸着させることで導波管を形成するプロセスが報告されている．本... [more] | AP2016-47 pp.61-66 |
| SCE | 2016-04-20 17:00 |
東京 | 機械振興会館 | 微小Alトンネル接合列内での接合特性の均一性向上を目指したSiO援用Dolan法の提案と評価 徳山貴斗・島田 宏・○水柿義直（電通大） SCE2016-10 |
2層レジストで形成されるレジスト架橋構造と斜め蒸着を用いるDolan法は，微小トンネル接合の作製方法として広く利用されて... [more] | SCE2016-10 pp.55-60 |
| SDM, OME (共催) |
2016-04-08 12:00 |
沖縄 | 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 | ［招待講演］低仕事関数金属界面制御層を用いた有機半導体トランジスタのデバイス特性 ○大見俊一郎・前田康貴・古山 脩・廣木瑞葉（東工大） SDM2016-3 OME2016-3 |
ペンタセンやルブレンを用いた有機半導体電界効果トランジスタ(OFET)は、アモルファスSiをしのぐ高いホール移動度を示す... [more] | SDM2016-3 OME2016-3 pp.11-15 |
| VLD | 2016-03-02 10:55 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | Histogram of Oriented Light Propagationを用いたリソグラフィホットスポットの検出 ○富岡洋一（会津大）・松縄哲明（東芝） VLD2015-136 |
近年の半導体製造プロセスにおいて，配線の電気的なショート，断線等の不良を引き起こす危険生の高い箇所であるリソグラフィホッ... [more] | VLD2015-136 pp.143-148 |
| VLD, DC, IPSJ-SLDM (連催) ICD, CPM (共催) CPSY, RECONF (併催) [詳細] |
2015-12-02 14:55 |
長崎 | 長崎県勤労福祉会館 | ［招待講演］EDA研究最前線 ～ テキサス大学留学経験より ～ ○松縄哲明（東芝） VLD2015-50 DC2015-46 |
EDAの研究は国際競争の激しい分野の一つである． この分野で著名な国際会議であるDACやICCADは，論文の採択率が2... [more] |
VLD2015-50 DC2015-46 p.73 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2015-07-10 15:20 |
東京 | 早稲田大学 | パルス電析法を用いたFePtナノドットアレイの高保磁力化の検討 ○西家大貴・ヴォダルツ ジギー・謝 承達・齋藤 学・阿部純也（早大）・Giovanni Zangari（バージニア大）・本間敬之（早大） MR2015-13 |
我々は電気化学的手法とリソグラフィ技術を組み合わせたビットパターンドメディア（BPM）形成手法を検討してきた．本研究では... [more] | MR2015-13 pp.25-29 |
| ED | 2015-04-17 10:55 |
宮城 | 東北大通研ナノスピン実験施設 | 微小Alトンネル接合列内での接合特性の均一性向上を目指したSiO援用Dolan法の提案と評価 徳山貴斗・島田 宏・○水柿義直（電通大/CREST JST） ED2015-13 |
2層レジストで形成されるレジスト架橋構造と斜め蒸着を用いるDolan法は，微小トンネル接合の作製方法として広く利用されて... [more] | ED2015-13 pp.65-70 |
| NC, MBE (共催) |
2015-03-16 11:25 |
東京 | 玉川大学 | ソノポレーションにおける導入効率向上法検討のための微小培養ウェルの開発と評価 ○白幡 陽・繁富(栗林) 香織・工藤信樹（北大） MBE2014-119 NC2014-70 |
これまで我々は，微小気泡が接着した細胞にパルス超音波を照射することによって膜損傷を生じさせ，細胞内に薬物を導入するソノポ... [more] | MBE2014-119 NC2014-70 pp.19-23 |
| VLD | 2015-03-02 13:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | A Fast Lithographic Mask Correction Algorithm ○Ahmd Awad・Atsushi Takahashi（Tokyo Institute of Technology） VLD2014-153 |
As technology nodes downscaling into sub-16 nm regime, the i... [more] | VLD2014-153 pp.1-6 |
| LQE, ED, CPM (共催) |
2014-11-27 14:30 |
大阪 | 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 | ナノインプリントリソグラフィを用いたナノチャネルFIELO法により作製されたGaNテンプレートの2次元歪みマッピング ○南部優賢・山口敦史（金沢工大）・後藤裕輝・砂川晴夫・松枝敏晴（古河機械金属）・岡田愛姫子（早大）・篠原秀敏・後藤博史（東芝機械）・水野 潤（早大）・碓井 彰（古河機械金属） ED2014-80 CPM2014-137 LQE2014-108 |
白色LEDにおいて大電流領域で効率が低下する現象（Droop現象）を抑制する１つの手法として，下地のGaN膜（基板）の高... [more] | ED2014-80 CPM2014-137 LQE2014-108 pp.33-38 |
| CPM | 2014-10-24 11:00 |
長野 | 信州大学工学部 地域共同研究センター３階研修 キャンパスマップ17番 | 金属酸化物ナノシートを用いた極薄キャリア選択層の成膜逆構造型バルクヘテロ接合型有機薄膜太陽電池への応用 ○後藤慶紀・坂 優助・伊東栄次（信州大） CPM2014-100 |
本研究では溶液プロセスによりnm単位で膜厚制御可能な極薄の酸化チタンナノシート(TN)を交互吸着法や高速で形成可能な電気... [more] | CPM2014-100 pp.1-6 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2014-07-17 13:25 |
東京 | 東京工業大学 | 電析初期過程の解析に基づく超高記録密度ナノドットアレイの形成及び高保磁力化 ○萩原弘規・ヴォダルツ ジギー・大谷智博・西家大貴（早大）・Giovanni Zangari（ヴァージニア大）・本間敬之（早大） MR2014-9 |
我々は，電気化学的手法である電解析出法とリソグラフィ技術を組み合わせ，次世代型の磁気記録媒体として期待されるビットパター... [more] | MR2014-9 pp.7-10 |
| VLD, IPSJ-SLDM (連催) |
2014-05-29 09:55 |
福岡 | 北九州国際会議場 11会議室 | ［招待講演］半正定値緩和を用いたマルチパターニングリソグラフィ ○松井知己（東工大） VLD2014-4 |
リソグラフィ技術の一つであるマルチパターニングリソグラフィにおいて解かれる，レイアウトを2つあるいは3つのマスクに分割す... [more] | VLD2014-4 p.19 |
| VLD | 2014-03-04 13:20 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］Advanced Model-Based Hotspot Fix Flow for Layout Optimization with Genetic Algorithm ○Shuhei Sota（Toshiba Microelectronics）・Taiga Uno・Masanari Kajiwara・Chikaaki Kodama（Toshiba）・Hirotaka Ichikawa（Toshiba Microelectronics）・Ryota Aburada・Toshiya Kotani（Toshiba）・Kei Nakagawa・Tamaki Saito（Toshiba Microelectronics） VLD2013-148 |
Low-k1リソグラフィ・プロセスでは、ホットスポットと呼ばれるリソグラフィ上の欠陥が多数発生するため、その削減が歩留り... [more] | VLD2013-148 p.85 |
| VLD | 2014-03-04 14:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 超微細化を実現する側壁ダブル・クアドラプルパターニングのための3色グリッド配線手法 ○児玉親亮（東芝）・市川裕隆（東芝マイクロエレクトロニクス）・中嶌史晴・中山幸一・野嶋茂樹・小谷敏也（東芝） VLD2013-151 |
光リソグラフィの延命技術とよばれ，次世代リソグラフィ技術の実用化までの「つなぎ」のような存在であったダブルパターニング技... [more] | VLD2013-151 pp.99-104 |
| VLD | 2014-03-04 15:05 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | クラスタリングによる高速なリソグラフィ照明形状最適化 ○多和田雅師・柳澤政生・戸川 望（早大）・橋本隆希・坂主圭史・野嶋茂樹・小谷敏也（東芝） VLD2013-152 |
リソグラフィでは光をフォトマスクに通してウェハ上にパターンを生成する． 近年の微細化により生成されるパターンはフォトマ... [more] |
VLD2013-152 pp.105-110 |
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