| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 研究会 開催スケジュール |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
すべての研究会開催スケジュール (検索条件: すべての年度)
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2009-12-04 13:50 |
奈良 | 奈良先端大 物質創成科学研究科 | 三次元基板のグリーンレーザー結晶化によるLTPS-TFTフラッシュメモリの特性評価 ○市川和典・松江将博・赤松 浩（神戸高専）・浦岡行治（奈良先端大）  SDM2009-161 |
近年低温poly-Si TFT（LTPS TFT）移動度の向上により、CPUやメモリなどの集積回路を同一基板上に作製する... [more] | SDM2009-161 pp.55-58 |
| SDM | 2009-12-04 15:30 |
奈良 | 奈良先端大 物質創成科学研究科 | レーザプラズマ軟X線照射により形成された擬似結晶核を介したa-Si膜の結晶化 ○礒田伸哉・松尾直人・天野 壮・部家 彰・宮本修治・望月孝晏（兵庫県立大） SDM2009-165 |
LPXを照射したa-Si膜を、ラマン分光法、分光エリプソメトリ、ESRを用いて解析した。LPX照射によりa-Si膜上部の... [more] | SDM2009-165 pp.73-77 |
| SDM | 2008-10-09 14:30 |
宮城 | 東北大学 | エタノール添加スラリーを用いたCMPによるCWレーザ結晶化Si薄膜の平坦化 ○沼田雅之・黒木伸一郎・藤井俊太朗・小谷光司・伊藤隆司（東北大） SDM2008-151 |
CWレーザアニールはガラス基板上でグレインサイズ20×2 µm2の大粒径poly-Si薄膜を得ることができ、... [more] | SDM2008-151 pp.13-16 |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]