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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| US | 2018-11-02 15:20 |
愛知 | 愛知工業大学 | 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜 ○篁 佑太（同志社大）・高柳真司（名工大）・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大）  US2018-68 |
弾性波の一つであるSH型SAWは，液体へのエネルギー漏洩が少なく，液体の粘度や導電率，誘電率を測定可能である．一方，高感... [more] | US2018-68 pp.25-30 |
| US | 2015-09-03 14:30 |
北海道 | 第一滝本館 （北海道登別） |
c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用 ○日山彰子（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・高柳真司・松川真美（同志社大） US2015-49 |
SH波は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため，導電率や粘度などが測定可能である．これまでに我々は，c軸平行配向ZnO膜を... [more] | US2015-49 pp.19-24 |
| US | 2015-09-03 15:20 |
北海道 | 第一滝本館 （北海道登別） |
低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用 ○高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・Jean-Claude Gerbedoen・Abdelkrim Talbi（IEMN）・松川真美（同志社大）・Philippe Pernod（IEMN） US2015-50 |
ZnO薄膜はSAWフィルタなど様々な圧電デバイスに応用されてきたが，その多くは(0001)面に優先配向を持つ．一方，(1... [more] | US2015-50 pp.25-30 |
| US | 2015-09-03 15:50 |
北海道 | 第一滝本館 （北海道登別） |
イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数 ○岡 峰生・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・松川真美（同志社大） US2015-51 |
近年，Scを43%ドープしたAlN薄膜の圧電定数d33が5倍に増加すると報告された．我々は，これまでにc軸垂直配向ScA... [more] | US2015-51 pp.31-35 |
| US | 2011-09-26 15:50 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数 ○中東佑太（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2011-50 |
横波型弾性表面波（SH型SAW）は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため，液体の導電率や粘性を測定できる．c軸が基板面に対... [more] | US2011-50 pp.23-26 |
| US | 2010-09-30 10:50 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ～ ○高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2010-62 |
c軸が基板面と平行かつ一方向に配向した（(11-20)面，(10-10) 面配向）ZnO薄膜を用いた共振子は横波を励振す... [more] | US2010-62 pp.75-80 |
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