| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 研究会 開催スケジュール |
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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2010-10-28 17:05 |
長野 | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 | FTS法にUBMS法を組み合わせた方法によるSrAl2O4:Eu, Dy薄膜の作製 ○久野敬史・齋藤 稔・小林和晃・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）  CPM2010-97 |
本研究では，通常の対向ターゲット式スパッタ（FTS）法及びFTS法にアンバランスドマグネトロンスパッタ（UBMS）法を組... [more] | CPM2010-97 pp.33-37 |
| US | 2010-09-30 10:50 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ～ ○高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2010-62 |
c軸が基板面と平行かつ一方向に配向した（(11-20)面，(10-10) 面配向）ZnO薄膜を用いた共振子は横波を励振す... [more] | US2010-62 pp.75-80 |
| CPM | 2010-07-29 13:55 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | ガスフロースパッタ法によるFe3O4のGaAs上へのエピタキシャル成長 ○佐久間洋志・設樂裕紀・鍵 康人・鈴木 涼・石井 清（宇都宮大） CPM2010-31 |
酸化物の半導体基板上へのエピタキシャル成長は一般に困難を伴う．マグネタイト（Fe3O4）はハーフメタルの一種として知られ... [more] | CPM2010-31 pp.1-4 |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 10:25 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成条件の調査 ○中村光宏・以西雅章（静岡大） ED2010-26 CPM2010-16 SDM2010-26 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。本研究では、薄膜の生成条件... [more] | ED2010-26 CPM2010-16 SDM2010-26 pp.51-55 |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 11:30 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | 白金担持TiO2薄膜の生成と光触媒特性 ○中村郁太・伊藤達也・以西雅章（静岡大）・星 陽一（東京工芸大） ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28 |
本研究では, RFマグネトロンスパッタリング法により生成したTiO2薄膜に白金を担持することにより,光触媒特性の向上を図... [more] | ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28 pp.61-64 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 13:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］スパッタリング法によるSi膜と高性能多結晶Si薄膜トランジスタ ○芹川 正（阪大） SDM2010-6 OME2010-6 |
スパッタ法によりa-Si膜を形成し、多結晶Si薄膜トランジスタ（poly-Si TFT）を製作した。スパッタ法によるa-... [more] | SDM2010-6 OME2010-6 pp.23-28 |
| ED, CPM, SDM (共催) |
2009-05-14 14:20 |
愛知 | 豊橋技科大サテライトオフィス | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成における石英円筒の効果 ○細川貴之・関川智士・以西雅章（静岡大） ED2009-20 CPM2009-10 SDM2009-10 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn2... [more] | ED2009-20 CPM2009-10 SDM2009-10 pp.11-15 |
| CPM | 2008-10-31 09:50 |
新潟 | 新潟大学 | Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討 ○高橋沙季・二木雅斗・中村陽平・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-84 |
本研究では，RF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，低温でITO膜を結晶化させる... [more] | CPM2008-84 pp.53-58 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-15 13:00 |
愛知 | 名古屋工業大学 | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成へのドーナツ円板の効果 ○細川貴之・中村功一・細江俊介・酒井 里・以西雅章（静岡大） ED2008-1 CPM2008-9 SDM2008-21 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn2... [more] | ED2008-1 CPM2008-9 SDM2008-21 pp.1-6 |
| EE, IEE-IEA (共催) |
2008-05-09 10:00 |
東京 | 機械振興会館 | ECRスパッタ法により作製したLiCoO2正極膜を用いた薄膜型リチウム二次電池の電気化学特性 ○林 政彦・高橋雅也・正代尊久（NTT） |
薄膜型リチウム二次電池用正極膜の新規な作製法として電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマスパッタリング法を用いて、ポス... [more] | EE2008-1 pp.1-6 |
| CPM | 2007-11-16 14:20 |
新潟 | 長岡技術科学大学 | 第三電極を有するRFマグネトロンスパッタ法によるZnO透明導電膜特性の均一性評価 ○朝野 章（長岡技科大）・片桐裕則（長岡高専）・黒木雄一郎・安井寛治・高田雅介・赤羽正志（長岡技科大） CPM2007-108 |
我々は第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法により作製したAlドープ酸化亜鉛について研究をしてきた。マグネトロンスパ... [more] | CPM2007-108 pp.19-22 |
| CPM | 2007-08-09 16:10 |
山形 | 山形大学 | 基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討（II） ○梅津 岳・中田悠介・清水英彦・丸山武男・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2007-42 |
本研究では，高エネルギー粒子を抑制できるRF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，... [more] | CPM2007-42 pp.33-38 |
| SDM | 2007-06-08 13:10 |
広島 | 広島大学（学士会館） | スパッタ法によるLaAlO3の成膜と電気特性の評価 ○西岡 浩・菊地 真・木村 勲・神保武人・鄒 紅コウ（アルバック） SDM2007-46 |
High-kゲート絶縁材料としてLaAlO3薄膜がRFマグネトロンスパッタ法によりp型Si(100)基板上に堆積された。... [more] | SDM2007-46 pp.81-83 |
| CPM | 2006-08-08 11:25 |
岩手 | 岩手大学 | 対向ターゲットマグネトロンスパッタ法による大面積SmBa2Cu3O7-δ薄膜の作製に関する研究 ○高橋幸也・武蔵慎吾・木村 豊・菊地新司・道上 修（岩手大） |
対向ターゲットマグネトロンスパッタ法（MSFT法）により作製した酸化物超伝導薄膜SmBa2Cu3O7-δ(SBCO)の大... [more] | CPM2006-52 pp.63-67 |
| CPM | 2005-11-12 12:35 |
福井 | 福井大学 | 低電圧スパッタ法によるYBCO薄膜の作製及び評価 ○岡田好正・清水英彦・森 貴志・岩野春男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）・丸山武男（新潟大） |
本研究では，プラズマスパッタ法を用いて容易にYBCO薄膜の作製を実現できるようにするための基礎研究として，RF-DC結合... [more] | CPM2005-169 pp.39-42 |
| CPM | 2005-11-12 13:00 |
福井 | 福井大学 | 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討 ○槻尾浩一・竹内正樹・森下和哉・清水英彦・丸山武男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） |
透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために，RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結... [more] | CPM2005-170 pp.43-48 |
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