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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) ○柴田真之・柳谷隆彦（早大）  US2023-56 |
現在スマートフォンのRFフィルタとして、弾性表面波を用いたSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタと... [more] | US2023-56 pp.1-6 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| US | 2023-11-27 16:10 |
静岡 | 静岡大学 | 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-54 |
現在普及しているBAW共振子は2種類あり、FBAR（自立薄膜共振子）とSMR（ブラッグ反射器付き共振子）である。これらの... [more] | US2023-54 pp.61-66 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向け窒化物多層圧電薄膜のハイパワー特性 ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） |
現在普及が進んでいる第5世代移動体通信システム(5G)やその先の6G以降において、無線通信に用いられる各素子の更なる高周... [more] | |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］基地局向けRFフィルタを目指した多層圧電薄膜共振子 ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） |
現在、5Gや6Gなど高い周波数での無線通信の需要が増大し続けている。隣接した複数の周波数帯域から混線せずに受信をするため... [more] | |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 ○清水祐樹（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-61 |
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである... [more] | US2022-61 pp.56-61 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性 ○李 嵩・賈 軍軍・柳谷隆彦（早大） US2022-64 |
AlNやGaN圧電薄膜を用いたバルク弾性波（BAW）共振子は、高い音速と低い機械的損失を持つため、マイクロ波通信用のGH... [more] | US2022-64 pp.74-79 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| US | 2020-09-28 14:25 |
ONLINE | オンライン開催 | レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス ○木下紗里那（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JST CREST） US2020-35 |
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] | US2020-35 pp.45-50 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
| US | 2019-07-29 14:20 |
北海道 | 北海道大学 | 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価 ○天野凌輔・山川愉生（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JSTさきがけ） US2019-31 |
複素反射率測定法による液体試料の粘弾性評価では，基板-液体試料界面に入射するSH波の角度を大きくすることで測定感度の向上... [more] | US2019-31 pp.19-23 |
| US | 2018-10-04 12:40 |
宮城 | 東北大学 | c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価 ○山川愉生・五月女 巧・唐澤 嶺・柳谷隆彦（早大） US2018-53 |
水晶振動子（QCM: Quartz Crystal Microbalance）を用いた液体の粘度評価において、測定感度を... [more] | US2018-53 pp.25-29 |
| US | 2015-10-09 15:50 |
石川 | 金沢工業大学 | ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱 ○趙 恩慧・川部昌彦・高柳真司（同志社大）・鈴木雅視・柳谷隆彦（早大）・松川真美（同志社大） US2015-63 |
Brillouin散乱とは，入射したフォトンと物質内の熱的な格子振動であるフォノンとの非弾性衝突により，入射光の周波数が... [more] | US2015-63 pp.27-30 |
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