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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2023-10-13 17:00 |
宮城 | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ | 窒素添加LaB6 /LaBxNy積層構造を用いたボトムゲート型OFET/ReRAM集積化に関する検討 ○趙 嘉昂・大見俊一郎（東工大）  SDM2023-61 |
本研究では、窒素添加LaB6をターゲットとしてAr/N2プラズマを用いた反応性スパッタ法により形成したLaBxNy絶縁膜... [more] | SDM2023-61 pp.46-49 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] | |
| OME | 2023-01-27 14:10 |
高知 | 高知商工会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
ニッケルナノ粒子修飾カーボン薄膜電極の電気化学触媒活性向上 ○丹羽 修・太田早紀・大谷和也・小池綾香・高橋将太（埼玉工大）・鎌田智之・加藤 大（産総研）・芝 駿介（愛媛大） OME2022-76 |
金属ナノ粒子は、高い電極触媒活性を示すことから燃料電池の電極や酵素を用いないグルコースセンサなどへの応用が期待されている... [more] | OME2022-76 pp.9-13 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性 ○工藤慎也・柳谷隆彦（早大） US2022-66 |
LiNbO3は、Q値とk2値が高いため、SAWフィルタに使用されている。しかし、通常のスパッタリング法で成長できるc軸配... [more] | US2022-66 pp.86-91 |
| ED | 2022-12-08 14:10 |
愛知 | 12/8 名大，12/9 ウインク愛知（会場は「詳細はこちら」を参照ください） | 直流および高周波マグネトロンスパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の測定 ○大住知暉（京大）・長尾昌善（産総研）・後藤康仁（京大） ED2022-53 |
直流および高周波マグネトロンスパッタ法を用い, 成膜時に導入するガスの窒素流量比を変化させ, 窒素組成の異なる窒化ハフニ... [more] | ED2022-53 pp.15-17 |
| SDM | 2022-10-19 17:20 |
ONLINE | オンライン開催に変更 | 強誘電性ノンドープHfO2薄膜を用いたMFSFETのしきい値電圧制御に関する検討 ○田沼将一・Joong-Won Shin・大見俊一郎（東工大） SDM2022-63 |
強誘電性HfO2薄膜は、従来の強誘電体材料では困難であったSi基板上への形成が可能であり、強誘電体ゲートトランジスタへ(... [more] | SDM2022-63 pp.38-42 |
| SDM | 2021-10-21 13:25 |
ONLINE | オンライン開催 | 界面層を用いた強誘電性ノンドープHfO2薄膜形成に関する検討 ○田沼将一・Joong-Won Shin・大見俊一郎（東工大） SDM2021-47 |
強誘電体HfO_2薄膜は、従来の強誘電体材料では困難であったSi基板上への形成が可能であり、強誘電体ゲートトランジスタ(... [more] | SDM2021-47 pp.12-15 |
| OME | 2020-02-28 15:20 |
鹿児島 | 奄美市名瀬公民館 | ナノ粒子埋め込みカーボン薄膜電極の電気化学特性と応用 ○丹羽 修（埼玉工大）・芝 駿介（愛媛大）・高橋将太・小池綾香・大谷和也・太田早紀（埼玉工大）・鎌田智之・加藤 大（産総研） OME2019-67 |
金属とカーボンを同時にスパッタすることで、金属ナノ粒子が埋め込まれたカーボン薄膜電極を形成することができる。埋め込まれた... [more] | OME2019-67 pp.9-12 |
| SDM | 2019-10-23 14:20 |
宮城 | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ | Hf界面層を用いた強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成 ○片岡正和・林 将生・キム ミンギ・大見俊一郎（東工大） SDM2019-54 |
本研究では、ノンドープHfO2薄膜を用いた強誘電体ゲートFETの実現を目的として、Hf界面層の導入による低誘電率SiO2... [more] | SDM2019-54 pp.7-10 |
| CPM | 2019-08-26 14:20 |
北海道 | 北見工業大学 1号館２F A-207講義室 | スパッタ法によるAZO膜堆積のための導電性酸化物焼結ターゲットの作製 ○清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2019-39 |
本検討では，1500℃及び1600℃にて焼結させたZnOに2wt.%のAl2O3を添加した導電性を有するAZO焼結体を作... [more] | CPM2019-39 pp.9-12 |
| CPM, IEE-MAG (連催) |
2018-11-01 14:50 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討 ○清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望（新潟大） CPM2018-45 |
Ⅲ族元素をドープしたZnOの薄膜は，低抵抗の膜となることから，ITO薄膜に代わる透明導電膜用材料として注目されている。そ... [more] | CPM2018-45 pp.21-24 |
| CPM | 2017-07-22 11:33 |
北海道 | 北見工業大学第一総合研究棟２F多目的講義室 | ［招待講演］薄膜電子材料開発のための低ダメージスパッタ成膜技術開発の歩み ○星 陽一（東京工芸大） CPM2017-38 |
著者は43年前に、始めてスパッタ法を用いてYIG膜の作製を試みる機会が与えられた。酸素負イオンや２次電子衝撃のために所望... [more] | CPM2017-38 pp.89-94 |
| US | 2015-09-03 15:20 |
北海道 | 第一滝本館 （北海道登別） |
低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用 ○高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・Jean-Claude Gerbedoen・Abdelkrim Talbi（IEMN）・松川真美（同志社大）・Philippe Pernod（IEMN） US2015-50 |
ZnO薄膜はSAWフィルタなど様々な圧電デバイスに応用されてきたが，その多くは(0001)面に優先配向を持つ．一方，(1... [more] | US2015-50 pp.25-30 |
| IEIJ-SSL, SID-JC (共催) EID, ITE-IDY, IEE-EDD (連催) [詳細] |
2014-01-25 10:20 |
新潟 | 新潟大学 駅南キャンパス | 透明有機EL素子における陰極構造の検討 ○佐野弘尚・中 茂樹・岡田裕之（富山大） EID2013-25 |
透明有機ELにおける陰極構造の検討を行った。陰極構造として金属薄膜/MoO3/IZO構造を導入し、MoO3によるIZOス... [more] | EID2013-25 pp.101-104 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2013-11-15 15:45 |
東京 | 早稲田大学 | 大きな垂直磁気異方性を持つCoフェライト薄膜の成長と特性 ～ 新しい磁気記録媒体の提案 ～ ○喜多英治・柳原英人（筑波大）・新関智彦（東北大）・鈴木和也（筑波大） MR2013-22 |
レアメタルを含まないスピネル型酸化物強磁性の電子材料への応用を目的に、スパッタ法による高品位な薄膜成長を行った。鉄酸化物... [more] | MR2013-22 pp.23-28 |
| ITE-IDY, EID, IEE-EDD (連催) |
2013-01-24 15:08 |
静岡 | 静岡大学 | Alq3膜上へのスパッタリング薄膜の作製とその発光効率への影響 ○稲富雅彰・飯村靖文（東京農工大） EID2012-20 |
現在、有機ELディスプレイは液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどの他のディスプレイに対して、高コントラスト、高視野... [more] | EID2012-20 pp.45-48 |
| CPM | 2012-10-26 14:15 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | スパッタ法によるAZO薄膜の抵抗率の検討 ○名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2012-95 |
本研究では，市販ターゲットを用い，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法による膜堆積時の基板温度変化や堆積... [more] | CPM2012-95 pp.13-16 |
| CPM | 2012-10-27 09:35 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | 熱処理法によるSrAl2O4: Eu, Dy薄膜用下地膜の検討 ○小林和晃・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・川上貴浩（新潟大） CPM2012-105 |
本研究では，マグネトロンスパッタ法により，室温にて酸化Al下地膜を堆積させた後，対向ターゲット式スパッタ法により室温にて... [more] | CPM2012-105 pp.65-69 |
| US | 2012-09-24 14:45 |
秋田 | 秋田大学 手形キャンパス | RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製 ○生駒 遼（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・高柳真司（同志社大）・鈴木雅視（名工大）・小田川裕之（熊本高専）・松川真美（同志社大） US2012-61 |
ZnO結晶のc軸方向には極性があり，通常，スパッタ法などで作製したc軸配向ZnO薄膜は成長終端がZn極性面となるように成... [more] | US2012-61 pp.21-25 |
| CPM | 2011-10-26 13:50 |
福井 | 福井大学 産学官連携本部研修室 | RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2011-111 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法（低電圧スパッタ法）に注目し，この方法により室温にてAZ... [more] | CPM2011-111 pp.11-15 |
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