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IMQ 2017-12-15
14:20
静岡 静岡大学浜松キャンパス 多結晶シリコンPL像中の転位領域の非負値行列因子分解による推定
工藤博章羽山優介松本哲也沓掛健太朗宇佐美徳隆名大IMQ2017-22
多結晶シリコンウェハのPL像に対して,ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った.非負... [more] IMQ2017-22
pp.13-18
IMQ 2017-10-06
16:15
兵庫 神戸大学 多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討
工藤博章羽山優介松本哲也名大)・沓掛健太朗東北大)・宇佐美徳隆名大IMQ2017-19
近年,多結晶シリコンウェハの組織制御が着目されている.本報告では多結晶シリコンウェハのPL像を用い,転位を含んだ領域を特... [more] IMQ2017-19
pp.29-34
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