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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性 ○李 嵩・賈 軍軍・柳谷隆彦（早大）  US2022-64 |
AlNやGaN圧電薄膜を用いたバルク弾性波（BAW）共振子は、高い音速と低い機械的損失を持つため、マイクロ波通信用のGH... [more] | US2022-64 pp.74-79 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定 ○近藤圭太・石井直輝・鈴木基嗣（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-65 |
一般的に音響ブラッグ反射器の特性評価には、ブラッグ反射層上に圧電薄膜を形成したSMR構造におけるインピーダンス特性が用い... [more] | US2022-65 pp.80-85 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性 ○工藤慎也・柳谷隆彦（早大） US2022-66 |
LiNbO3は、Q値とk2値が高いため、SAWフィルタに使用されている。しかし、通常のスパッタリング法で成長できるc軸配... [more] | US2022-66 pp.86-91 |
| US | 2022-01-25 11:25 |
ONLINE | オンライン開催 | c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ ○泉 航太・柳谷隆彦（早大） US2021-59 |
弾性表面波(SAW)の送受波によって駆動するトランスバーサル型フィルタは振幅特性と位相特性の独立制御、フォトリソグラフィ... [more] | US2021-59 pp.5-10 |
| US | 2021-11-26 13:50 |
ONLINE | オンライン開催 | PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング ○佐藤裕友・柳谷隆彦（早大） US2021-42 |
PZT薄膜やScAlN薄膜を用いたpMUTによるイメージングデバイスが多数報告されている。しかしpMUTは屈曲振動がゆえ... [more] | US2021-42 pp.13-18 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| US | 2020-11-05 15:45 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較 ○五月女 巧・柳谷隆彦（早大） US2020-49 |
移動体通信では大電力化していく傾向にあり、BAWフィルタへの大電力信号の投入は、二次高調波 (H2) 発生 (Secon... [more] | US2020-49 pp.34-39 |
| US | 2020-09-28 14:25 |
ONLINE | オンライン開催 | レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス ○木下紗里那（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JST CREST） US2020-35 |
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] | US2020-35 pp.45-50 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
| US | 2019-07-29 14:20 |
北海道 | 北海道大学 | 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価 ○天野凌輔・山川愉生（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JSTさきがけ） US2019-31 |
複素反射率測定法による液体試料の粘弾性評価では，基板-液体試料界面に入射するSH波の角度を大きくすることで測定感度の向上... [more] | US2019-31 pp.19-23 |
| US | 2019-07-29 15:45 |
北海道 | 北海道大学 | ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性 ○宮田昌哉・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2019-34 |
厚みすべりモード共振子は液体中への振動エネルギー漏洩が非常に少ないため，液体粘度測定や抗原抗体反応検出へ応用することがで... [more] | US2019-34 pp.33-37 |
| US | 2018-11-02 15:20 |
愛知 | 愛知工業大学 | 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜 ○篁 佑太（同志社大）・高柳真司（名工大）・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2018-68 |
弾性波の一つであるSH型SAWは，液体へのエネルギー漏洩が少なく，液体の粘度や導電率，誘電率を測定可能である．一方，高感... [more] | US2018-68 pp.25-30 |
| US | 2018-10-04 10:50 |
宮城 | 東北大学 | 分極反転PZT/PTO薄膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子 ○清水貴博・森 剛志・柳谷隆彦（早大） US2018-51 |
[more] | US2018-51 pp.13-18 |
| US | 2018-10-04 11:15 |
宮城 | 東北大学 | 基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ～ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ～ ○戸塚 誠・柳谷隆彦（早大） US2018-52 |
圧電薄膜を用いたBAW共振子の最終的な性能を決定付けるパラメータとして電気機械結合係数がある．電気機械結合係数(kt2)... [more] | US2018-52 pp.19-24 |
| US | 2018-10-04 12:40 |
宮城 | 東北大学 | c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価 ○山川愉生・五月女 巧・唐澤 嶺・柳谷隆彦（早大） US2018-53 |
水晶振動子（QCM: Quartz Crystal Microbalance）を用いた液体の粘度評価において、測定感度を... [more] | US2018-53 pp.25-29 |
| US | 2018-10-04 13:30 |
宮城 | 東北大学 | 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ～ ○唐澤 嶺（早大）・高柳真司（名工大）・遠藤結佳（早大）・今川 誠・森坂啓介・鈴木 雄（フルヤ金属）・柳谷隆彦（早大） US2018-55 |
[more] | US2018-55 pp.37-42 |
| US | 2018-05-21 15:45 |
東京 | 機械振興会館 | 周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子 ○清水貴博・柳谷隆彦（早大） US2018-16 |
近年，移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って，フィルタ搭載数が増加している．その解決策の1つとして，1つのフィルタ... [more] | US2018-16 pp.29-34 |
| US | 2017-07-27 15:40 |
岡山 | 岡山大学 | ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価 ○山川愉生・佐野耕平・唐澤 嶺（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2017-42 |
液体の緩和特性の研究には，試料に対するMHz帯からGHz帯までの周波数掃引が求められる．しかし，従来のセンサであるQCM... [more] | US2017-42 pp.61-66 |
| US | 2017-07-27 16:40 |
岡山 | 岡山大学 | コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化 ○川部昌彦（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・柴垣慶明（同志社大）・高柳真司（名工大）・鈴木雅視（早大）・松川真美（同志社大） US2017-44 |
Brillouin散乱法は薄膜や透明材料などの音速を非破壊・非接触で測定できる技術であり，数100MHz～GHz域の縦波... [more] | US2017-44 pp.71-74 |
| US | 2016-04-18 11:00 |
東京 | 早稲田大学 西早稲田キャンパス | ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ ○森 剛志（名工大/早大）・鈴木雅視・柳谷隆彦（早大） US2016-1 |
[more] | US2016-1 pp.1-6 |
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