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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2019-10-23
14:20
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Hf界面層を用いた強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成
片岡正和林 将生キム ミンギ大見俊一郎東工大SDM2019-54
本研究では、ノンドープHfO2薄膜を用いた強誘電体ゲートFETの実現を目的として、Hf界面層の導入による低誘電率SiO2... [more] SDM2019-54
pp.7-10
SDM 2019-10-23
15:40
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Investigation of ferroelectric undoped HfO2 formation on Si(100) utilizing post metallization annealing for nonvolatile memory application
Min Gee KimMasakazu KataokaMasaki HayashiRengie Mark D. MailigShun-ichiro OhmiTokyo Tech.SDM2019-56
 [more] SDM2019-56
pp.17-20
SDM 2019-10-24
10:50
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Low temperature formation of PdErSi/Si(100) for Schottky barrier source and drain MOSFET applications
Rengie Mark D. MailigYuichiro ArugaMin Gee KimShun-ichiro OhmiTokyo TechSDM2019-61
In this report, the effects of the TiN encapsulating layer o... [more] SDM2019-61
pp.39-43
SDM 2018-10-18
10:20
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Thin film formation of ferroelectric undoped HfO2 on Si(100) by RF magnetron sputtering
Min Gee KimRengie Mark D. MailigShun-ichiro OhmiTokyo Tech.SDM2018-58
In this study, we investigated thin film formation of ferroe... [more] SDM2018-58
pp.31-34
SDM 2018-10-18
10:50
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Schottky barrier height reduction of Pd2Si/Si(100) diodes by dopant segregation process
Rengie Mark D. MailigMin Gee KimShun-ichiro OhmiTokyo Tech.SDM2018-59
In this paper, the reduction of the Schottky barrier height ... [more] SDM2018-59
pp.35-40
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