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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM, EID (共催) |
2014-12-12 16:00 |
京都 | 京都大学 | 軟X線源を用いたSiOx中nc-Siの形成 ○草壁 史・平野翔大・部家 彰・松尾直人・神田一浩・望月孝晏・宮本修治（兵庫県立大）・小濱和之・伊藤和博（阪大）  EID2014-32 SDM2014-127 |
[more] | EID2014-32 SDM2014-127 pp.99-102 |
| SDM, OME (共催) |
2014-04-11 09:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］多結晶シリコン薄膜の低温成長に関する研究 ～ 高性能フレキシブルディスプレイ実現に向けて ～ ○河本直哉・只友一行（山口大）・部家 彰・松尾直人（兵庫県立大） SDM2014-12 OME2014-12 |
[more] | SDM2014-12 OME2014-12 pp.51-54 |
| SDM | 2013-12-13 10:20 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | キャリア再結合抑制効果を持つ電界効果型薄膜太陽電池 ○若宮彰太・小林孝裕・松尾直人・部家 彰（兵庫県立大） SDM2013-120 |
[more] | SDM2013-120 pp.25-29 |
| SDM | 2013-12-13 13:30 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線照射による半導体薄膜の低温結晶化 ～ 光子エネルギー依存性とSiGe多層膜のTEM観察 ～ ○草壁 史・丸山裕樹・部家 彰・松尾直人・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・伊藤和博・高橋 誠（阪大） SDM2013-126 |
a-Ge, a-SiGe 膜の軟 X線照射結晶化における照射光子エネルギー依存性を検討した。Ge 膜において蓄積リング電... [more] | SDM2013-126 pp.61-66 |
| SDM | 2013-12-13 13:50 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線源を用いたSi中B原子の低温活性化技術の開発 ○部家 彰・草壁 史・丸山裕樹・松尾直人・神田一浩（兵庫県立大）・野口 隆（琉球大） SDM2013-127 |
10nm程度の極浅接合形成のため、アンジュレータ光源を用いた軟X線照射によるSi中B不純物の低温活性化について検討した。... [more] | SDM2013-127 pp.67-72 |
| SDM | 2012-12-07 11:30 |
京都 | 京都大学(桂) | DNAを用いたメモリトランジスタのキャリア挙動の検討 ○前野尚子・松尾直人・山名一成・部家 彰・高田忠雄（兵庫県立大） SDM2012-121 |
我々はSi基板を用いて100nm程度のギャップを持つ電極を作製し，電極間に固定されたDNAに電荷保持特性がある事を報告し... [more] | SDM2012-121 pp.37-40 |
| SDM | 2012-12-07 15:30 |
京都 | 京都大学(桂) | MOS構造を有する太陽電池による変換効率の向上 ○小林孝裕・松尾直人・部家 彰（兵庫県立大） SDM2012-132 |
太陽電池の変換効率を支配する要因の内分けの内、表面又はバルクにおけるキャリア再結合による損失は30％といわれている。我々... [more] | SDM2012-132 pp.101-105 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-28 09:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］軟X線照射のみによる半導体非晶質膜の低温結晶化 ○松尾直人・部家 彰・望月孝晏・宮本修治・神田一浩（兵庫県立大） SDM2012-11 OME2012-11 |
[more] | SDM2012-11 OME2012-11 pp.49-54 |
| SDM | 2011-12-16 16:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発 ○部家 彰・野々村勇希・木野翔太・松尾直人・天野 壮・宮本修治・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・都甲 薫・佐道泰造・宮尾正信（九大） SDM2011-145 |
結晶化が起こるには、結晶核形成と結晶粒成長の2つのプロセスを経る必要があるが、一般に結晶核形成には多くのエネルギーを必要... [more] | SDM2011-145 pp.71-76 |
| SDM | 2011-12-16 16:40 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | DNA電界効果トランジスタの電荷保持特性 ○高城祥吾・松尾直人・山名一成・部家 彰・高田忠雄（兵庫県立大）・横山 新（広島大） SDM2011-147 |
SOI基板を用いて、100nmのギャップを持つソース/ドレイン電極間を繋ぐように形成したＤＮＡ分子の電荷保持特性を調査し... [more] | SDM2011-147 pp.83-85 |
| SDM | 2010-12-17 16:45 |
京都 | 京都大学(桂) | Siゲートを持つDNA電界効果トランジスタに関する研究 ○高城祥吾・松尾直人・山名一成・部家 彰・高田忠雄（兵庫県立大）・坂本憲児・横山 新（広島大） SDM2010-201 |
本研究では，Si基板を用いて100nm程度のギャップを持つ電極を作製し，電極間に固定されたDNAの伝導特性，及び，n-S... [more] | SDM2010-201 pp.87-91 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 11:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ペンタセンOTFTの膜質評価および電気伝導機構の考察 ○部家 彰・長谷川裕師・松尾直人（兵庫県立大） SDM2010-3 OME2010-3 |
ペンタセン膜厚1,3,10,50nmの有機薄膜トランジスタ（OTFT）およびペンタセン縦方向評価試料を作製し，その電気特... [more] | SDM2010-3 OME2010-3 pp.9-12 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 14:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | エキシマレーザ・アニールpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長における水素の効果 ○部家 彰・山田和史（兵庫県立大）・河本直哉（山口大）・松尾直人（兵庫県立大） SDM2010-10 OME2010-10 |
エキシマレーザ・アニール法により形成したpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長に対する水素の効果を検討した．レーザ照射密... [more] | SDM2010-10 OME2010-10 pp.45-48 |
| SDM | 2009-12-04 15:30 |
奈良 | 奈良先端大 物質創成科学研究科 | レーザプラズマ軟X線照射により形成された擬似結晶核を介したa-Si膜の結晶化 ○礒田伸哉・松尾直人・天野 壮・部家 彰・宮本修治・望月孝晏（兵庫県立大） SDM2009-165 |
LPXを照射したa-Si膜を、ラマン分光法、分光エリプソメトリ、ESRを用いて解析した。LPX照射によりa-Si膜上部の... [more] | SDM2009-165 pp.73-77 |
| SDM | 2008-12-05 11:30 |
京都 | 京都大学桂キャンパスA1-001 | アンジュレータ光源を使用した軟X線励起によるa-Si膜表面のSi原子移動 高梨泰幸・部家 彰・○松尾直人・神田一浩（兵庫県立大） SDM2008-187 |
アンジュレータ光源から発生した軟X線をa-Si膜(膜厚1, 50nm)に照射したときの特性変化を検討した．照射前後で表面... [more] | SDM2008-187 pp.17-20 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-11 16:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 原子状水素アニール処理によるペンタセンTFTの絶縁膜界面特性の向上 ○部家 彰・佐藤真彦・長谷川裕師・松尾直人（兵庫県立大） SDM2008-13 OME2008-13 |
加熱触媒体線で分解・生成した原子状水素をゲート絶縁膜に吹き付ける「原子状水素アニール（AHA）処理」を行うことで，絶縁膜... [more] | SDM2008-13 OME2008-13 pp.61-66 |
| SDM | 2007-12-14 10:40 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | レーザプラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果 高梨泰幸・○松尾直人・上拾石和也・部家 彰・天野 壮・宮本修治・望月孝晏（兵庫県立大） SDM2007-224 |
我々はレーザプラズマX線(LPX)と低エネルギ密度でのエキシマレーザアニーリング(ELA)を併用した結晶化について研究し... [more] | SDM2007-224 pp.9-13 |
| R, ED, SDM (共催) |
2005-11-25 10:50 |
大阪 | 中央電気倶楽部 | ［招待講演］有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 ～ 低温触媒CVD装置の開発 ～ ○部家 彰（兵庫県立大）・南川俊治（石川工試）・仁木敏一・南 茂平（石川製作所）・増田 淳・梅本宏信（北陸先端大）・松尾直人（兵庫県立大）・松村英樹（北陸先端大） |
[more] | R2005-39 ED2005-174 SDM2005-193 pp.7-12 |
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