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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2006-06-21
13:25		 広島 広島大学, 学士会館 HfO2/Ge(100)構造における光電子分光分析
○中川　博・大田晃生・安部浩透・村上秀樹・東　清一郎・宮崎誠一（広島大） 		化学溶液洗浄したGe(100)基板上に反応性電子ビーム(EB)蒸着により堆積した極薄HfO2膜(膜厚2.1&#61566... [more] SDM2006-43
pp.7-12
SDM 2006-06-21
16:25		 広島 広島大学, 学士会館 NiSi/SiO2界面近傍の化学結合状態およびNiSi 層の実効仕事関数評価
○吉永博路・東　大介・村上秀樹・大田晃生・宗高勇気・東　清一郎・宮崎誠一（広島大）・青山敬幸・保坂公彦（富士通研）・芝原健太郎（広島大） 		不純物(Sb、As 、PおよびB)添加したNi-silicideを熱酸化シリコン酸化膜（SiO2）上に形成し、Si基板を... [more] SDM2006-49
pp.43-48
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