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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
US 2012-09-24
14:45
秋田 秋田大学 手形キャンパス RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製
生駒 遼同志社大)・柳谷隆彦名工大)・高柳真司同志社大)・鈴木雅視名工大)・小田川裕之熊本高専)・松川真美同志社大US2012-61
ZnO結晶のc軸方向には極性があり,通常,スパッタ法などで作製したc軸配向ZnO薄膜は成長終端がZn極性面となるように成... [more] US2012-61
pp.21-25
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