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シリコン材料・デバイス研究会(SDM) [schedule] [select]
専門委員長 国清 辰也 (ルネサス エレクトロニクス)
副委員長 品田 高宏 (東北大)
幹事 黒田 理人 (東北大), 山口 直 (ルネサス エレクトロニクス)
幹事補佐 池田 浩也 (静岡大)

日時 2017年 2月 6日(月) 10:05 - 16:45
議題 配線・実装技術と関連材料技術 
会場名 東京大学/本郷/工学部4号館/3階42教室 
住所 http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_05_j.html
交通案内 本郷アクセスマップ
http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/map01_02_j.html
他の共催 ◆応用物理学会共催
著作権に
ついて
以下の論文すべての著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)

2月6日(月) 午前 
10:00 - 16:45
  10:00-10:05 開会の挨拶 ( 5分 )
(1) 10:05-10:40 [招待講演]Impact of Dry Process Damage on Chemical Mechanical Planarization with Cu/low-k Structure SDM2016-139 小寺雅子矢野博之宮下直人東芝
(2) 10:40-11:15 [招待講演]ALDプロセスによるULSI用高品質金属薄膜の作製 SDM2016-140 霜垣幸浩東大
(3) 11:15-11:50 [招待講演]低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成 SDM2016-141 中塚 理名大)・渡部佳優東京エレクトロン)・鈴木陽洋名大)・西 義雄Stanford大)・財満鎭明名大
  11:50-13:00 昼食 ( 70分 )
(4) 13:00-13:35 [招待講演]超長期保管メモリ・システムの必要性とその課題 ~ デジタル時代の和紙を目指して ~ SDM2016-142 小林敏夫芝浦工大
(5) 13:35-14:10 [招待講演]モノリシック三次元インバータにおける積層トランジスタの電気的結合とその層間絶縁膜厚依存性 SDM2016-143 服部淳一福田浩一入沢寿史太田裕之前田辰郎産総研
(6) 14:10-14:45 [招待講演]低電力FPGAを実現するビアスイッチ技術を用いた大規模クロスバースイッチの実証 SDM2016-144 伴野直樹多田宗弘岡本浩一郎井口憲幸阪本利司波田博光NEC)・越智裕之立命館大)・小野寺秀俊京大)・橋本昌宜阪大)・杉林直彦NEC
  14:45-15:00 休憩 ( 15分 )
(7) 15:00-15:35 [招待講演]先端LSI配線におけるライナー・バリア機能を有する非晶質コバルト合金の特性 マリャムサダット ホセイニ小出紘之渡辺和樹安藤大輔須藤祐司・○小池淳一東北大
(8) 15:35-16:10 [招待講演]ビアラスト型TSVの高留まり化のためのウエット洗浄プロセスの開発 SDM2016-145 渡辺直也産総研)・菊地秀和柳澤あづさラピス)・島本晴夫菊地克弥青柳昌宏産総研)・中村彰男ラピス
(9) 16:10-16:45 [招待講演]湿式法によるスルーホール付きガラス基板への直接銅めっき SDM2016-146 井上浩徳高山昌敏藤村 翼鬼武重雄江東電気
  16:45-16:50 閉会の挨拶 ( 5分 )

講演時間
招待講演発表 25 分 + 質疑応答 10 分

問合先と今後の予定
SDM シリコン材料・デバイス研究会(SDM)   [今後の予定はこちら]
問合先 黒田 理人(東北大)
Tel 022-795-4833 Fax 022-795-4834
E-: e3 


Last modified: 2017-01-17 14:50:15


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