| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 研究会 開催スケジュール |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
シリコン材料・デバイス研究会 (SDM) (検索条件: 2010年度)
「from:2010-10-21 to:2010-10-21」による検索結果
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2010-10-21 14:00 |
宮城 | 東北大学 | ［招待講演］先端LSIにおけるチャネル歪評価 ○小椋厚志（明大）・小瀬村大亮（明大/学振）・武井宗久・富田基裕（明大）  SDM2010-152 |
[more] | SDM2010-152 pp.1-6 |
| SDM | 2010-10-21 15:00 |
宮城 | 東北大学 | 液浸ラマン分光法による異方性2軸応力評価 ○小瀬村大亮（明大/学振）・小椋厚志（明大） SDM2010-153 |
ラマン分光法は、高い精度で応力が評価でき、比較的空間分解能も高く、非破壊の特徴を有する。このため、半導体デバイスの応力評... [more] | SDM2010-153 pp.7-12 |
| SDM | 2010-10-21 15:30 |
宮城 | 東北大学 | Yb混晶化PtSiの仕事関数変調機構 ○石川純平・高 峻・大見俊一郎（東工大） SDM2010-154 |
極微細CMOSの拡散層における超低コンタクト抵抗の実現を目的として、Yb混晶化によるPtSiの仕事関数変調に関する検討を... [more] | SDM2010-154 pp.13-16 |
| SDM | 2010-10-21 16:10 |
宮城 | 東北大学 | Hf混晶化によるPtSiの高精度仕事関数制御に関する検討 ○高 峻・石川純平・大見俊一郎（東工大） SDM2010-155 |
[more] | SDM2010-155 pp.17-20 |
| SDM | 2010-10-21 16:40 |
宮城 | 東北大学 | Effect of ultra-thin Yb layer on n-type characteristics of pentacene based MOS diodes ○Young-uk Song・Hiroshi Ishiwara・Shun-ichiro Ohmi（Tokyo Inst. of Tech.） SDM2010-156 |
[more] | SDM2010-156 pp.21-24 |
| SDM | 2010-10-21 17:10 |
宮城 | 東北大学 | ULSI用低抵抗コンタクトのための低バリアハイトメタルシリサイドの形成 ○田中宏明・黒田理人・中尾幸久・寺本章伸・須川成利・大見忠弘（東北大） SDM2010-157 |
[more] | SDM2010-157 pp.25-30 |
| SDM | 2010-10-21 17:40 |
宮城 | 東北大学 | 薄膜アモルファスシリコンの低温結晶化 ○岩鍜治陽子・広田 潤・矢吹 宗・石田浩一・金子和香奈・水島一郎・赤堀浩史（東芝） SDM2010-158 |
センサー、太陽電池、液晶など様々な製品にポリシリコンが多用されている。近年、それらデバイスに対し薄膜ポリシリコン層を用い... [more] | SDM2010-158 pp.31-34 |
| SDM | 2010-10-22 09:30 |
宮城 | 東北大学 | ルミネッセンス計算化学による高分子発光材料/陰極界面の電子移動解析 ○山下 格・大沼宏彰・南雲 亮・三浦隆治・鈴木 愛・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・宮本 明（東北大） SDM2010-159 |
[more] | SDM2010-159 pp.35-36 |
| SDM | 2010-10-22 10:00 |
宮城 | 東北大学 | 材料情報学による母体結晶からのEu2+付活蛍光体の発光特性予測 ○大沼宏彰・吉原大貴・山下 格・南雲 亮・三浦隆治・鈴木 愛・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・宮本 明（東北大） SDM2010-160 |
[more] | SDM2010-160 pp.37-38 |
| SDM | 2010-10-22 10:30 |
宮城 | 東北大学 | 計算化学によるSi/SiC量子ドット太陽電池におけるキャリアトラップの解析 ○広瀬 祥・山下 格・南雲 亮・三浦隆治・鈴木 愛・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・宮本 明（東北大） SDM2010-161 |
Si/SiC量子ドット太陽電池では、量子ドット/バルク界面欠陥によるキャリアトラップが問題となっている。これはSiとSi... [more] | SDM2010-161 pp.39-40 |
| SDM | 2010-10-22 11:10 |
宮城 | 東北大学 | 連続発振レーザー結晶化poly-Si TFTにおける内部歪と電子移動度の評価 ○藤井俊太朗・黒木伸一郎・小谷光司（東北大） SDM2010-162 |
連続発振レーザー結晶化によって形成したpoly-Si膜中には引っ張り歪が発生する。面内方向のX線回折測定から、表面側では... [more] | SDM2010-162 pp.41-44 |
| SDM | 2010-10-22 11:40 |
宮城 | 東北大学 | 高性能LTPS-TFTのためのDouble-Line-Beam CLCによる高結晶配向Poly-Si薄膜形成 ○黒木伸一郎・川崎雄也・藤井俊太朗・小谷光司（東北大）・伊藤隆司（東工大/広島大） SDM2010-163 |
石英基板上にレーザ結晶化により3軸配向性の高いPoly-Si薄膜を形成した。連続発振レーザを用い、ビームスポットを、直線... [more] | SDM2010-163 pp.45-48 |
| SDM | 2010-10-22 13:10 |
宮城 | 東北大学 | Effect of gate insulator on the electrical properties of pentacene based organic field-effect transistors ○Min Liao・Hiroshi Ishiwara・Shun-ichiro Ohmi（Tokyo Inst. of Tech.） SDM2010-164 |
[more] | SDM2010-164 pp.49-52 |
| SDM | 2010-10-22 13:40 |
宮城 | 東北大学 | Integration of Novel Non-porous Low-k Dielectric Fluorocarbon into Advanced Cu Interconnects ○Xun Gu・Takenao Nemoto・Yugo Tomita・Akinobu Teramoto・Shin-Ichiro Kuroki・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.） SDM2010-165 |
[more] | SDM2010-165 pp.53-56 |
| SDM | 2010-10-22 14:10 |
宮城 | 東北大学 | ECRスパッタ法によるHfN/HfSiON積層構造のin-situ形成 ○佐野貴洋・大見俊一郎（東工大） SDM2010-166 |
[more] | SDM2010-166 pp.57-60 |
| SDM | 2010-10-22 14:50 |
宮城 | 東北大学 | 酸素ラジカルを用いて形成したSiO2/Si界面における組成遷移と価電子帯オフセットの基板面方位依存性 ○諏訪智之・熊谷勇喜・寺本章伸・大見忠弘・服部健雄（東北大）・木下豊彦・室 隆桂之（高輝度光科学研究センター） SDM2010-167 |
Si 2pとO 1sの内殻準位および価電子帯からの軟X線励起角度分解光電子スペクトルを脱出深さを揃えて測定し、Oラジカル... [more] | SDM2010-167 pp.61-65 |
| SDM | 2010-10-22 15:20 |
宮城 | 東北大学 | 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用 ○坪井秀行・稲葉賢二・伊勢真理子・林 由紀江・鈴木裕佳・佐藤裕美・小原幸子・南雲 亮・三浦隆治・鈴木 愛・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・宮本 明（東北大） SDM2010-168 |
外部の量子化学計算プログラムを呼び出してエネルギー計算を行い得られた原子間エネルギーを元に分子動力学用ポテンシャルパラメ... [more] | SDM2010-168 pp.67-68 |
| SDM | 2010-10-22 15:50 |
宮城 | 東北大学 | 自動化超高速化量子分子動力学法によるシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション ○坪井秀行・伊勢真理子・林 由紀江・鈴木裕佳・佐藤裕美・小原幸子・稲葉賢二・南雲 亮・三浦隆治・鈴木 愛・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・宮本 明（東北大） SDM2010-169 |
シリコン表面における酸化膜の形成メカニズムの解明,とくにドライ酸化・ウエット酸化・ラジカル酸化の初期過程における反応分子... [more] | SDM2010-169 pp.69-70 |
| SDM | 2010-10-22 16:20 |
宮城 | 東北大学 | 原子スケールで平坦なSiO2/Si酸化膜界面歪の評価 ○服部真季（明大）・小瀬村大亮（明大/学振）・武井宗久・永田晃基・赤松弘彬・富田基裕・水上雄輝・橋口裕樹・山口拓也・小椋厚志（明大）・諏訪智之・寺本章伸・服部健雄・大見忠弘（東北大）・小金澤智之（高輝度光科学研究センター） SDM2010-170 |
原子スケールで平坦なSiO2/Si界面の構造や歪の状態を明らかにするために、ラマン分光法およびin-plane X線回折... [more] | SDM2010-170 pp.71-75 |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]