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シリコン材料・デバイス研究会 (SDM) (検索条件: 2007年度)
「from:2007-10-04 to:2007-10-04」による検索結果
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2007-10-04 13:00 |
宮城 | 東北大学 | プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと理論設計 ○久保百司・芹澤和実・菊地宏美・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio（東北大）・梶山博司・篠田 傅（広島大）・宮本 明（東北大）  SDM2007-170 |
プラズマディスプレイの開発においては、プラズマ環境下におけるMgO保護膜の劣化特性の向上が重要課題となっている。本研究で... [more] | SDM2007-170 pp.1-2 |
| SDM | 2007-10-04 13:25 |
宮城 | 東北大学 | 分子動力学法によるMgOの力学的特性の予測 ○大沼宏彰・芹澤和実・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio（東北大）・梶山博司・篠田 傅（広島大）・宮本 明（東北大） SDM2007-171 |
界面や極限条件下での材料の物性を実験的に測定することは困難であるため，デバイス設計において，計算手法による物性の予測が重... [more] | SDM2007-171 pp.3-4 |
| SDM | 2007-10-04 13:50 |
宮城 | 東北大学 | 計算化学によるプラズマディスプレイ用MgO保護膜の電子放出特性の評価 ○芹澤和実・大沼宏彰・菊地宏美・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio（東北大）・梶山博司・篠田 傳（広島大）・宮本 明（東北大） SDM2007-172 |
プラズマディスプレイパネルの駆動電力を低減させるために、その電極保護に用いられているMgO膜の電子放出能の向上が求められ... [more] | SDM2007-172 pp.5-6 |
| SDM | 2007-10-04 14:15 |
宮城 | 東北大学 | 新規計算化学手法を用いたDLCの摩擦特性解析 ○森田祐輔・敖敦其木格・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio・宮本 明（東北大） SDM2007-173 |
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜等の硬質炭素系薄膜は優れた低摩擦性や耐摩耗性を有することから、トライボロジー材料等... [more] | SDM2007-173 pp.7-8 |
| SDM | 2007-10-04 14:40 |
宮城 | 東北大学 | Influence of Chemical Topology on the Electrical Properties of Carbon Black – A Theoretical Study ○Arunabhiram Chutia・Zhigang Zhu・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Momoji Kubo・Carlos A. Del Carpio・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.） SDM2007-174 |
[more] | SDM2007-174 pp.9-10 |
| SDM | 2007-10-04 15:15 |
宮城 | 東北大学 | 先端ＤＲＡＭでのＳｉＯＮゲート絶縁膜における窒素プロファイルと素子特性について ○村川惠美（東京エレクトロン/東北大）・竹内政志・本田 稔・石塚修一・中西敏雄・廣田良浩（東京エレクトロンAT）・菅原卓也・田中義嗣・赤坂泰志（東京エレクトロン）・寺本章伸・須川成利・大見忠弘（東北大） SDM2007-175 |
プラズマ窒化によるＳｉＯＮゲート絶縁膜形成において、高分解ＲＢＳによって校正されたＡＲ－ＸＰＳを用いて絶縁膜中窒素濃度分... [more] | SDM2007-175 pp.11-14 |
| SDM | 2007-10-04 15:40 |
宮城 | 東北大学 | マルチスケールトンネル電流シミュレータの開発 ○坪井秀行・芹澤和実・鈴木 愛・サヌーン リアド・古山通久・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・デルカルピオ カルロス（東北大）・梶山博司・篠田 傳（広島大）・宮本 明（東北大） SDM2007-176 |
ディスプレイ用電子デバイスなどにおける電子放出特性を原子レベルでの表面電子状態解析から予測することはデバイス開発に貴重な... [more] | SDM2007-176 pp.15-16 |
| SDM | 2007-10-04 16:05 |
宮城 | 東北大学 | Development of Multi-Scale Electrical Conductivity Simulator with the Joule Heating Module and its Application to Polycrystalline SiO2 ○John Paul Yacapin・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Momoji Kubo・Carlos A. Del Carpio・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.） SDM2007-177 |
[more] | SDM2007-177 pp.17-18 |
| SDM | 2007-10-04 16:30 |
宮城 | 東北大学 | ECRプラズマプロセスによるHfO2系絶縁膜の極薄膜化の検討 ○仲野雄介・佐藤雅樹・大見俊一郎（東工大） SDM2007-178 |
HfN膜のECR-Ar/O$_{2}$プラズマ酸化により形成したHfO$_{x}$N$_{y}$薄膜の極薄膜化に関する検... [more] | SDM2007-178 pp.19-22 |
| SDM | 2007-10-04 16:55 |
宮城 | 東北大学 | 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調 ○黒木伸一郎・小谷光司・伊藤隆司（東北大） SDM2007-179 |
ペロブスカイト酸化物誘電体薄膜における歪印加効果について報告する。ペロブスカイト高誘電率薄膜において、不純物添加起因の歪... [more] | SDM2007-179 pp.23-24 |
| SDM | 2007-10-05 09:30 |
宮城 | 東北大学 | Theoretic Study of Electronic and Electrical Properties for Nano-Structural ZnO ○Zhigang Zhu・Arunabhiram Chutia・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Carlos A. Del Carpio・Momoji Kubo・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.） SDM2007-180 |
[more] | SDM2007-180 pp.25-26 |
| SDM | 2007-10-05 09:55 |
宮城 | 東北大学 | Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Study on Interfacial Electron Transfer in Dye-Sensitized Anatase (001) Surface ○Chen Lv・Agalya Govindasamy・Kei Ogiya・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Momoji Kubo・Carlos A. Del Carpio・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.） SDM2007-181 |
[more] | SDM2007-181 pp.27-28 |
| SDM | 2007-10-05 10:20 |
宮城 | 東北大学 | 量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討 ○敖敦其木格・森田祐輔・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio・宮本 明（東北大） SDM2007-182 |
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、優れた低摩擦係数、耐摩耗性を有することから摺動部品、切削工具用途への展開が期待さ... [more] | SDM2007-182 pp.29-30 |
| SDM | 2007-10-05 10:55 |
宮城 | 東北大学 | 低誘電率アモルファスハイドロカーボン（aCHx）膜の銅配線バリアー特性の検討 ○石川 拓（東京エレクトロン技研/東北大）・野沢俊久・松岡孝明（東京エレクトロン技研）・寺本章伸・平山昌樹・伊藤隆司・大見忠弘（東北大） SDM2007-183 |
近年、半導体デバイスの高集積化が進み、デバイスの高速動作の観点から配線のRC遅延を減少させるために低誘電率層間絶縁膜とC... [more] | SDM2007-183 pp.31-34 |
| SDM | 2007-10-05 11:20 |
宮城 | 東北大学 | 減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発 ○鈴木克昌・石原良夫・迫田 薫（大陽日酸）・白井泰雪・平山昌樹・寺本章伸・大見忠弘（東北大）・渡辺高行（宇部マテリアルズ） SDM2007-184 |
[more] | SDM2007-184 pp.35-38 |
| SDM | 2007-10-05 11:45 |
宮城 | 東北大学 | 色素増感型太陽電池のためのマルチスケールシミュレータの開発 ○扇谷 恵・呂 晨・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio・宮本 明（東北大） SDM2007-185 |
[more] | SDM2007-185 pp.39-40 |
| SDM | 2007-10-05 13:10 |
宮城 | 東北大学 | マイクロ波CVDを用いた高移動度ボトムゲート微結晶シリコンTFTの試作 ○廣江昭彦・寺本章伸・大見忠弘（東北大） SDM2007-186 |
マイクロ波(2.45GHz)励起プラズマCVDを用いて、微結晶シリコンのデポを行った。デポ条件を変えて成膜を行い、(22... [more] | SDM2007-186 pp.41-44 |
| SDM | 2007-10-05 13:35 |
宮城 | 東北大学 | High Performance Accumulation Mode FD-SOI MOSFETs on Si(100) and (110) Surfaces ○Weitao Cheng・Akinobu Teramoto・Rihito Kuroda・Chingfoa Tye・Syunichi Watabe・Tomoyuki Suwa・Tetsuya Goto・Fuminobu Imaizumi・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.） SDM2007-187 |
[more] | SDM2007-187 pp.45-48 |
| SDM | 2007-10-05 14:00 |
宮城 | 東北大学 | SBSI プロセスによるSOI/BOX 層の均一形成に関する検討 ○野武幸輝・須田雄一郎・大見俊一郎（東工大） SDM2007-188 |
本研究では、SBSIプロセスによる均一なSOI/BOX層の作製を目的として、SiGe選択エッチング時におけるSi層へのダ... [more] | SDM2007-188 pp.49-52 |
| SDM | 2007-10-05 14:25 |
宮城 | 東北大学 | Hfとの混晶化によるPtSiの仕事関数制御 ○大見俊一郎・高 峻・仲野雄介（東工大） SDM2007-189 |
Hfとの混晶化によるPtSiの仕事関数制御に関する検討を行った。Pt/Hf/n-Si(100)積層構造を形成後に、窒素中... [more] | SDM2007-189 pp.53-56 |
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