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電子部品・材料研究会 (CPM) (検索条件: 2010年度)
「from:2010-07-29 to:2010-07-29」による検索結果
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2010-07-29 13:30 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | RFスパッタリングによるCuInO2薄膜の作製と熱処理効果の検討 ○小川 翼・横本拓也・林部林平・山上朋彦・阿部克也（信州大） |
[more] | |
| CPM | 2010-07-29 13:55 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | ガスフロースパッタ法によるFe3O4のGaAs上へのエピタキシャル成長 ○佐久間洋志・設樂裕紀・鍵 康人・鈴木 涼・石井 清（宇都宮大）  CPM2010-31 |
酸化物の半導体基板上へのエピタキシャル成長は一般に困難を伴う．マグネタイト（Fe3O4）はハーフメタルの一種として知られ... [more] | CPM2010-31 pp.1-4 |
| CPM | 2010-07-29 14:20 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | 室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討 ○清水英彦・樫出 淳・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2010-32 |
[more] | CPM2010-32 pp.5-9 |
| CPM | 2010-07-29 14:55 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | 触媒反応により生成した水分子ビームを用いたZnO結晶薄膜のエピタキシャル成長 田原将巳・三浦仁嗣・黒田朋義・西山 洋・○安井寛治（長岡技科大） CPM2010-33 |
ジルコニアに担持した白金ナノ粒子表面での水素と酸素の発熱反応を利用して高エネルギーH2O分子を生成、有機金属ガスと気相中... [more] | CPM2010-33 pp.11-15 |
| CPM | 2010-07-29 15:20 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | 伝送線上のアイパターンを改善する技術の提案と実測評価 ○石黒将巳・島内優希・相部範之（筑波大）・吉原郁夫（宮崎大）・安永守利（筑波大） CPM2010-34 |
近年、バス構造のプリント基板上でGHz級の信号を伝送することが困難となっている。この問題に対して我々はセグメント分割伝送... [more] | CPM2010-34 pp.17-22 |
| CPM | 2010-07-29 15:50 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | ［招待講演］超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス ～ 細孔の評価と洗浄 ～ ○近藤英一（山梨大） CPM2010-35 |
超臨界二酸化炭素は，ナノレベルの浸透性，表面張力がゼロ，溶媒能などをあわせ持つ特異な流体である．これらの特長は多孔質低誘... [more] | CPM2010-35 pp.23-28 |
| CPM | 2010-07-30 09:30 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | ラジカル反応を応用したZrNx膜の低温作製 ○佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2010-36 |
３次元実装によるSi-ULSI の集積度の向上に必要なSi 貫通ビア配線に適用可能な低温での拡散バリヤの新たな成膜手法と... [more] | CPM2010-36 pp.29-34 |
| CPM | 2010-07-30 09:55 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | TDEAV原料を用いたVNx膜のALD成膜 ○武山真弓・佐藤 勝（北見工大）・須藤 弘・町田英明（気相成長）・伊藤 俊・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2010-37 |
Si-ULSIのCu多層配線において、さらなるバリヤ膜の極薄化と低抵抗化が望まれている。一方、我々は先の研究で反応性スパ... [more] | CPM2010-37 pp.35-38 |
| CPM | 2010-07-30 10:20 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | レーザーアブレーション法によるSi基板上AlN薄膜の形成 ○中澤日出樹・鈴木大樹・遲澤遼一・岡本 浩（弘前大） CPM2010-38 |
KrFエキシマレーザーおよび窒化アルミニウム（AlN）ターゲットを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にAlN... [more] | CPM2010-38 pp.39-44 |
| CPM | 2010-07-30 10:55 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | 水平配向したカーボンナノチューブからの電界電子放出 斉藤裕史・山上朋彦・林部林平・大池 匠・山下将弘・○上村喜一（信州大） CPM2010-39 |
陰極表面に対して水平に配置されたカーボンナノチューブ（CNT）からの電界電子放出特性を検討するために無限長直線電荷と同時... [more] | CPM2010-39 pp.45-48 |
| CPM | 2010-07-30 11:20 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | 液液界面析出したC60の光励起ポリマー形成 小出大樹・加藤翔太・池田恵理・岩田展幸・○山本 寛（日大） CPM2010-40 |
[more] | CPM2010-40 pp.49-54 |
| CPM | 2010-07-30 11:45 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | Snをドープしたシリカガラス薄膜の可視発光特性 ○望月翔太・野毛 悟（沼津高専） CPM2010-41 |
[more] | CPM2010-41 pp.55-60 |
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