お知らせ 2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ 技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ 電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW 参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
研究会 開催プログラム
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップ  戻る   前のCPM研究会 / 次のCPM研究会 [HTML] / [HTML(simple)] / [TEXT]  [Japanese] / [English] 

★電子部品・材料研究会(CPM)
専門委員長 石井 清  副委員長 上村 喜一
幹事 松浦 徹, 豊田 誠治
幹事補佐 清水 英彦, 竹村 泰司

日時 2006年11月 9日(木) 13:30~17:25
   2006年11月10日(金) 09:00~12:05

会場 金沢大学角間キャンパス(〒920-1192 金沢市角間町.JR金沢駅から北陸鉄道バスにて約40分.http://www.kanazawa-u.ac.jp/j/info/access/access.html.金沢大学 大学院 電子情報科学専攻 森本章治.076-234-4876)

議題 薄膜プロセス・材料、一般

11月9日(木) 午後 (13:30~17:25)

(1) 13:30 - 13:55
スパッタ法によるAZO薄膜の作製
○川上 歩・野口 亨・東出陽幸・宮崎紳介・清水英彦・丸山武男・岩野春男・川上貴浩(新潟大)・星 陽一(東京工芸大)

(2) 13:55 - 14:20
プラスチック基板上へのITO薄膜の作製
○竹内正樹・森下和哉・梅津 岳・中田悠介・宮崎紳介・清水英彦・丸山武男・岩野春男・川上貴浩(新潟大)・星 陽一(東京工芸大)・皆川正寛(日本精機)

(3) 14:20 - 14:45
RFマグネトロンスパッタ法によるCr2O3薄膜の作製
○浅田 毅・長瀬研二朗・山田貴之・岩田展幸・山本 寛(日大)

(4) 14:45 - 15:10
Ni/Mo層上におけるカーボンナノチューブの成長制御
○奥山博基・岩田展幸・山本 寛(日大)

−−− 休憩 ( 10分 ) −−−

(5) 15:20 - 15:45
RF-MBE法により成長したAlInN薄膜のCL測定による評価
○味村 裕・寺嶋 亘(千葉大)・崔 成伯・石谷善博・吉川明彦(千葉大/JST)

(6) 15:45 - 16:10
反応性スパッタ法によるAlN薄膜の作製とLD用サブマウントへの応用
○塩野晃宏・中久木政秀・小林勲生・山上朋彦・林部林平(信州大)・小畑元樹(シチズンファインテック)・阿部克也・上村喜一(信州大)

(7) 16:10 - 16:35
Cu/ZrN/SiOC/Si構造の熱的安定性と界面モフォロジーの検討
○野矢 厚・佐藤 勝・武山真弓(北見工大)・青柳英二(東北大)

(8) 16:35 - 17:00
Cu配線のためのラジカル反応を用いた極薄TiNxバリヤの新規作製方法の検討
○武山真弓・柳田賢善・野矢 厚(北見工大)

(9) 17:00 - 17:25
HW法により成膜された極薄HfNx膜のCu/SiO2及びCu/SiOC間のバリヤ特性
○佐藤 勝・武山真弓・野矢 厚(北見工大)

11月10日(金) 午前 (09:00~12:05)

(10) 09:00 - 09:25
IBS法による歪Si作製に向けた歪緩和SiGeの表面ラフネス制御
○山本 純・坂口勇太・成瀬公博・佐々木公洋(金沢大)

(11) 09:25 - 09:50
劣化エピタキシャル成長したSiGe薄膜の熱電性能 ~ 基板の影響 ~
○的場彰成・早平寿夫・都築崇博・佐々木公洋(金沢大)・岡本庸一・守本 純(防衛大)

(12) 09:50 - 10:15
SiC埋め込み型Geナノドット構造を目指した高密度ナノドット形成
○金丸哲史・荻原智明・安井寛治・赤羽正志・高田雅介(長岡技科大)

(13) 10:15 - 10:40
MOVPE成長したInN膜の成長中劣化現象
○杉田憲一・宝珍禎則・橋本明弘・山本暠勇(福井大)

−−− 休憩 ( 10分 ) −−−

(14) 10:50 - 11:15
制限反応スパッタ法によるZrO2薄膜作製における成長遅れ時間
○杉山英孝・小島述央・山岸大朗・周 英・佐々木公洋(金沢大)

(15) 11:15 - 11:40
酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の作製装置
○千葉 忍(金沢大/CBC)・佐々木公洋(金沢大)・元木 詮(CBC)・畑 朋延(JST)・伊藤昭彦(芝浦メカトロニクス)

(16) 11:40 - 12:05
スパッタ法で作製されたNiCr薄膜の構造と抵抗温度係数(TCR)特性に及ぼす基板表面あらさの影響
○岩坪 聡・清水孝晃(富山県工技センター)

一般講演(25):発表 20 分 + 質疑応答 5 分


☆CPM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日

2007年1月18日(木)~19日(金) 機械振興会館 [11月22日(水)] テーマ:LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術、テスト技術、一般

【問合先】
清水 英彦(新潟大学)
TEL 025-262-6811, FAX 025-262-6811
E-mail: engi-u

森本 章治(金沢大学)
Tel: 076-234-4876 Fax: 076-234-4870
E-mail: atect-u

安井 寛治(長岡技術科学大学)
TEL 0258-47-9502 FAX 0258-47-9500
E-mail: kivosut


Last modified: 2006-10-30 21:12:26


ご注意: 迷惑メール対策のためメールアドレスの一部の文字を置換しております.ご了承ください.

[この開催に関する講演論文リストをダウンロードする] ※ こちらのページの最下にあるダウンロードボタンを押してください
 
[研究会資料インデックス(vol. no.ごとの表紙と目次)]
 

[研究会発表・参加方法,FAQ] ※ ご一読ください
 

[CPM研究会のスケジュールに戻る]   /  
 
 トップ  戻る   前のCPM研究会 / 次のCPM研究会 [HTML] / [HTML(simple)] / [TEXT]  [Japanese] / [English] 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会