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★シリコン材料・デバイス研究会（SDM） 専門委員長 奈良 安雄 副委員長 大野 裕三 (筑波大) 幹事 笹子 佳孝 (日立) 幹事補佐 黒田 理人 (東北大) 日時 2014年 1月29日(水) 09：30～17：00 会場 機械振興会館 地下3階研修1号室（営団地下鉄日比谷線神谷町駅下車 徒歩8分） 議題 先端CMOSデバイス・プロセス技術（IEDM特集） 1月29日(水) 午前 （09：30～11：40） −−− はじめに 坂本邦博（産総研） （ 5分 ） −−− (1) 09:35 - 10:00 ［招待講演］2層グラフェンにおけるギャップ内のキャリア応答と高電界でのサブバンド散乱 ○長汐晃輔・金山 薫・西村知紀・鳥海 明（東大） (2) 10:00 - 10:25 ［招待講演］基板からみたGe n-MOSFETsにおける電子移動度の考察 ○李 忠賢・西村知紀・田畑俊行・魯 辞莽・張 文峰・長汐晃輔・鳥海 明（東大） (3) 10:25 - 10:50 ［招待講演］MOVPE再成長により形成した(111)B面を有する高移動度三角形状InGaAs-OI nMOSFETs ○入沢寿史・小田 穣・池田圭司・守山佳彦・三枝栄子・W Jevasuwan・前田辰郎（産総研）・市川 麿・長田剛規・秦 雅彦（住友化学）・宮本恭幸（東工大）・手塚 勉（産総研） (4) 10:50 - 11:15 ［招待講演］高信頼メタル/high-k CMOS SOI FinFETsのための高温イオン注入技術 ○水林 亘（産総研）・おの田 博・中島良樹（日新イオン機器）・石川由紀・松川 貴・遠藤和彦・Yongxun Liu・大内真一・塚田順一・山内洋美・右田真司・森田行則・太田裕之・昌原明植（産総研） (5) 11:15 - 11:40 ［招待講演］Si上III-V族半導体ナノワイヤの集積：高性能縦型FETと低電圧トランジスタ応用 ○冨岡克広（北大/JST）・福井孝志（北大） −−− 昼食 （ 60分 ） −−− 1月29日(水) 午後 （12：40～17：00） (6) 12:40 - 13:05 IEDMを振り返って 遠藤和彦（産総研） (7) 13:05 - 13:30 ［招待講演］不揮発性メモリMRAMの現状と将来展望 ○湯浅新治・福島章雄・薬師寺 啓・野崎隆行・甲野藤真・前原大樹・久保田 均・谷口知大・荒井礼子・今村裕志・安藤功兒（産総研）・塩田陽一・Frederic Bonnel・鈴木義茂（阪大）・下村尚治（東芝） (8) 13:30 - 13:55 ［招待講演］適応的コンピューティングシステムのための容量可変不揮発メモリアレイ 野口紘希・武田 進・野村久美子・安部恵子・池上一隆・北川英二・下村尚治・伊藤順一・○藤田 忍（東芝） (9) 13:55 - 14:20 ［招待講演］110 億トランジスタの特性分布における±5.4σより外れたトランジスタの解析 ○水谷朋子・クマール アニール・平本俊郎（東大） −−− 休憩 （ 20分 ） −−− (10) 14:40 - 15:05 ［招待講演］P/N駆動力バランスを考慮した基板バイアス制御による超低電圧0.4V動作SOTB-CMOS回路のダイ間遅延ばらつき抑制 ○槇山秀樹・山本芳樹・篠原博文・岩松俊明・尾田秀一・杉井信之（超低電圧デバイス技研組合）・石橋孝一郎（電通大）・水谷朋子・平本俊郎（東大）・山口泰男（超低電圧デバイス技研組合） (11) 15:05 - 15:30 ［招待講演］強い短チャネル効果耐性と閾値変調性を持つ極薄膜InAs-on-Insulator Tri-Gate MOSFET ○金 相賢・横山正史・中根了昌（東大）・市川 磨・長田剛規・秦 雅彦（住友化学）・竹中 充・高木信一（東大） (12) 15:30 - 15:55 ［招待講演］3D Integrated CMOS Device by Using Wafer Stacking and Via-last TSV ○Mayu Aoki・Futoshi Furuta・Kazuyuki Hozawa・Yuko Hanaoka・Kenichi Takeda（Hitachi） (13) 15:55 - 16:20 ［招待講演］1.2μm裏面照射型イメージセンサにおける飽和信号増大と混色抑制のための三次元構造 篠原武一・○渡辺一史（ソニーセミコンダクタ）・太田和伸（ソニー）・中山 創（ソニーセミコンダクタ）・森川隆史（ソニー）・大野圭一・杉本 大（ソニーセミコンダクタ）・門村新吾・平山照峰（ソニー） (14) 16:20 - 17:00 総合討論 招待講演：発表 20 分 ＋ 質疑応答 5 分 ◆応用物理学会共催 ◎研究会終了後，懇親会を予定していますのでご参加ください（参加費別途）． ☆SDM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日 1月 [未定] 2月27日(木)～28日(金) 北海道大学百年記念会館 [12月11日(水)] テーマ：機能ナノデバイスおよび関連技術 2月28日(金) 機械振興会館 テーマ：配線・実装技術と関連材料技術 4月10日(木)～11日(金) 沖縄県青年会館 [2月7日(金)] テーマ：薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 【問合先】 小野 行徳(NTT) Tel 046-240-2641 Fax 046-240-4317 E-mail: o          Last modified: 2014-01-06 17:33:06 |
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