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★シリコン材料・デバイス研究会（SDM）
専門委員長　渡辺重佳 (湘南工科大)
副委員長　杉井寿博 (富士通マイクロエレクトロニクス)
幹事　川中繁 (東芝)，安斎久浩 (ソニー)
幹事補佐　大見俊一郎 (東工大)

日時　2008年10月 9日(木)　13：30～17：45
　　　2008年10月10日(金)　10：00～17：15

会場東北大学未来科学技術共同研究センター（〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-10．仙台駅バスプール9番より、「工学部経由動物公園循環」、「宮教大」もしくは「青葉台」行きに乗ってください。最寄のバス停は、「情報科学研究科前」．http://www.fff.niche.tohoku.ac.jp/ja/index.php?%5B%5BMap%5D%5D．未来科学技術共同研究センター寺本章伸．022-795-3977）

議題プロセス科学と新プロセス技術

10月9日(木) 午後（13：30～17：45）

(1) 13:30 - 14:00
Evaluation of Post Cu-CMP Cleaning Chemicals for Non-Porous Ultra Low-k Dielectric Fluorocarbon Film
○Xun Gu・Takenao Nemoto・Akinobu Teramoto・Takashi Ito・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）

(2) 14:00 - 14:30
Investigation of Novel End-Point-Detection for Ta/Cu CMP
Xun Gu・○Takenao Nemoto（Tohoku Univ.）・Ara Philipossian・Yasa Adi Sampurno（Univ. of Arizona/Araca）・Jiang Cheng（Araca）・Yun Zhuang（Univ. of Arizona/Araca）・Akinobu Teramoto・Takashi Ito・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）

(3) 14:30 - 15:00
エタノール添加スラリーを用いたCMPによるCWレーザ結晶化Si薄膜の平坦化
○沼田雅之・黒木伸一郎・藤井俊太朗・小谷光司・伊藤隆司（東北大）

(4) 15:00 - 15:30
マルチスケール配線寿命予測シミュレータの開発とCu配線への応用
○坪井秀行・鈴木　愛・サヌーンリアド・古山通久・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・デルカルピオカルロス・久保百司・宮本　明（東北大）

−−−　休憩　（ 15分）　−−−

(5) 15:45 - 16:15
計算化学手法によるダイヤモンドライクカーボン(DLC)の摩擦特性・微細構造の検討
○栗秋貴謹・森田祐輔・小野寺　拓・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本　明（東北大）

(6) 16:15 - 16:45
Tight-Binding Quantum Chemistry Study on Excitation Properties of Perylene with Acrylic Acid on Anatas(001) Surface
○Chen Lv・Kei Ogiya・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Carlos A. Del Carpio・Momoji Kubo・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.）

(7) 16:45 - 17:15
計算化学によるプラズマディスプレイ用電極保護膜材料の二次電子放出特性評価
○芹澤和実・山下　格・大沼宏彰（東北大）・菊地宏美（東北大/広島大）・北垣昌規（広島大）・鈴木　愛・Sahnoun Riadh・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・デルカルピオカルロス・久保百司（東北大）・梶山博司（広島大）

(8) 17:15 - 17:45
超高速化量子分子動力学法に基づく構造解析・分光シミュレータの開発とシリコン半導体への応用
○遠藤　明・山下　格・芹澤和実・大沼宏彰・小野寺　拓・古山通久・坪井秀行・畠山　望・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本　明（東北大）

−−−　懇親会　−−−

10月10日(金) 午前（10：00～17：15）

(9) 10:00 - 10:30
三次元多孔質構造に基づく色素増感TiO2電極の電子移動シミュレーション
○扇谷　恵・呂　晨・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本　明（東北大）

(10) 10:30 - 11:00
発光材料の構造とキャリア移動特性に関する計算化学的解析
○山下　格・大沼宏彰/・芹澤和実・鈴木　愛・Sahnoun Riadh・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本　明（東北大）

(11) 11:00 - 11:30
実験との融合を指向した計算化学手法による蛍光体の構造解析
○大沼宏彰・山下　格・芹澤和実・鈴木　愛・Sahnoun Riadh・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本　明（東北大）

(12) 11:30 - 12:00
ペロブスカイト型BaTiO3の誘電特性解析のための超高速化量子分子動力学法の開発
○肖　紅君・平井　敬・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本　明（東北大）

−−−　昼食　（ 60分）　−−−

(13) 13:00 - 13:30
B18H22注入のミリ秒アニールに対する適用性
○川崎洋司・遠藤誠一・北澤雅志・丸山祥輝・山下朋弘・黒井　隆・吉村秀文・米田昌弘（ルネサステクノロジ）

(14) 13:30 - 14:00
Hf混晶化PtSiの仕事関数変調機構の検討
○高　峻・石川純平・大見俊一郎（東工大）

(15) 14:00 - 14:30
MOSFET特性ばらつき、RTSノイズの統計的評価
○藤澤孝文・須川成利・渡部俊一・阿部健一・寺本章伸・大見忠弘（東北大）

(16) 14:30 - 15:00
Impact of Fully Depleted Silicon-On-Insulator Accumualation-mode CMOS on Si(110)
○Ching Foa Tye・Weitao Cheng・Akinobu Teramoto・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）

−−−　休憩　（ 15分）　−−−

(17) 15:15 - 15:45
Stress Induced Leakage CurrentとRandom Telegraph Signalノイズとの相関
○熊谷勇喜・寺本章伸・阿部健一・藤澤孝文・渡部俊一・諏訪智之・宮本直人・須川成利・大見忠弘（東北大）

(18) 15:45 - 16:15
シリコン酸化膜中に取り込まれたドーパントの影響
○永嶋賢史・赤堀浩史（東芝）

(19) 16:15 - 16:45
角度分解光電子分光法によるゲート絶縁膜/シリコン基板界面に形成される構造遷移層に関する研究
○諏訪智之（東北大）・荒谷　崇（信越化学）・樋口正顕（東芝）・須川成利（東北大）・池永英司（高輝度光科学研究センター）・牛尾二郎（日立）・野平博司（武蔵工大）・寺本章伸・大見忠弘・服部健雄（東北大）

(20) 16:45 - 17:15
原子オーダ平坦化シリコンウェハ表面のAFM評価手法及びデータ解析手法
○譽田正宏・寺本章伸・諏訪智之・黒田理人・大見忠弘（東北大）

一般講演（30）：発表 25 分＋質疑応答 5 分

☆SDM研究会今後の予定　[ ]内発表申込締切日

11月13日(木)～14日(金)　機械振興会館　[9月12日(金)]　テーマ：プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般
12月5日(金)　京都大学桂キャンパスA1-001　[10月17日(金)]　テーマ：シリコン関連材料の作製と評価
2009年1月26日(月)　機械振興会館　[未定]　テーマ：IEDM特集（先端CMOSデバイス・プロセス技術）

【問合先】
川中繁 (東芝)
TEL 045-776-5670, FAX 045-776-4104
E-mail