5月13日(金) 午後 13:30 - 17:40 |
(1) |
13:30-14:10 |
[招待講演]レーザSQUID顕微鏡,レーザテラヘルツ放射顕微鏡,関連シミュレーションの統合的/選択的利用 ~ 電気的非接続でのLSIチップ故障箇所絞り込み手法 ~ |
○二川 清(阪大)・山下将嗣(理研)・松本 徹(浜松ホトニクス)・三浦克介・御堂義博・中前幸治(阪大) |
(2) |
14:10-14:35 |
走査型非線形誘電率顕微鏡法によるMONOS型メモリのVth分布観察 |
○本田耕一郎(富士通研)・長 康雄(東北大) |
(3) |
14:35-15:00 |
XRDを用いたカーボンナノチューブ構造体の結晶構造解析法 |
○古田 寛(高知工科大) |
(4) |
15:00-15:25 |
酸化亜鉛薄膜トランジスタ(ZnO TFT)のバイアスストレス劣化メカニズム |
○古田 守・平松孝浩・松田時宜・平尾 孝(高知工科大)・鎌田雄大・藤田静雄(京大) |
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15:25-15:45 |
休憩 ( 20分 ) |
(5) |
15:45-16:25 |
[招待講演]レーザ励起による準静電界を用いた故障解析手法 |
○伊藤誠吾・滝口清昭(東大) |
(6) |
16:25-16:50 |
量子ドットセルオートマトンPLAの信頼性評価 |
○三浦克介・野津孝行・中前幸治(阪大) |
(7) |
16:50-17:15 |
半導体製造工場における歩留解析システムの紹介 |
○姫野伸吾(東芝) |
(8) |
17:15-17:40 |
CMOSトランジスタの動作点解析による故障箇所の特定 |
○岸 和敬・眞田 克(高知工科大) |