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講演抄録/キーワード
講演名 2022-08-08 09:15
[招待講演]飽和信号量と量子効率の向上を可能にする2層トランジスタ画素積層型CMOSイメージセンサー
財津光一郎松本 晃西田水輝田中裕介山下浩史佐竹遥介ソニーセミコンダクタソリューションズ)・渡辺 敬荒木邦彦根井直毅ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)・中澤圭一山元純平上原睦雄ソニーセミコンダクタソリューションズ)・川島寛之小林悠作ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)・平野智之田谷圭司ソニーセミコンダクタソリューションズSDM2022-33 ICD2022-1
抄録 (和) 高い飽和信号量と量子効率を実現する2層トランジスタ画素積層型CMOSイメージセンサー(2-Layer Pixel)を開発した.2-Layer Pixelでは,3Dシーケンシャルプロセスを用いることによりフォトダイオードと画素トランジスタが異なるSi層に形成され,フォトダイオードの体積を従来の構造よりも拡大することが可能となる.また,複数の浮遊拡散層(FD)どうしを接続するサブローカル配線を新たに導入し,変換効率の向上とランダムノイズの抑制を行った.画素セルどうしは貫通トレンチにより分離され,トレンチの材料として,従来用いられているPoly-SiではなくSiOを用いる構造を初めて導入した.これにより貫通トレンチによる入射光の吸収を抑え,量子効率は波長530nmにおいて19%向上した.我々はこれらの技術を用いて1.0 μmのDual PDの画素構造を有するCMOSイメージセンサーを作製し,12,000 e-の飽和信号量を達成した.これは従来構造のCMOSイメージセンサーにおいて,画素セルの寸法がより大きいもので得られていた飽和信号量よりもさらに大きな値である. 
(英) (Not available yet)
キーワード (和) CMOSイメージセンサー / 2-Layer Pixel / 3Dシーケンシャル積層 / / / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 122, no. 148, SDM2022-33, pp. 1-6, 2022年8月.
資料番号 SDM2022-33 
発行日 2022-08-01 (SDM, ICD) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2022-33 ICD2022-1

研究会情報
研究会 ICD SDM ITE-IST  
開催期間 2022-08-08 - 2022-08-10 
開催地(和) オンライン開催に変更 現地開催(北海道大学百年記念会館)は中止 
開催地(英)  
テーマ(和) アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧・低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 
テーマ(英) Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low Voltage/Low Power Techniques, Novel Devices/Circuits, and the Applications 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2022-08-ICD-SDM-IST 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 飽和信号量と量子効率の向上を可能にする2層トランジスタ画素積層型CMOSイメージセンサー 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A 2-Layer Transistor Pixel Stacked CMOS Image Sensor with Oxide Based Full Trench Isolation for Large Full Well Capacity and High Quantum Efficiency 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) CMOSイメージセンサー /  
キーワード(2)(和/英) 2-Layer Pixel /  
キーワード(3)(和/英) 3Dシーケンシャル積層 /  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 財津 光一郎 / Koichiro Zaitsu / ザイツ コウイチロウ
第1著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 晃 / Akira Matsumoto / マツモト アキラ
第2著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 西田 水輝 / Mizuki Nishida / ニシダ ミズキ
第3著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 裕介 / Yusuke Tanaka / タナカ ユウスケ
第4著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 山下 浩史 / Hirofumi Yamashita / ヤマシタ ヒロフミ
第5著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐竹 遥介 / Yosuke Satake / サタケ ヨウスケ
第6著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡辺 敬 / Takashi Watanabe / ワタナベ タカシ
第7著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corporation (略称: Sony Semiconductor Manufacturing)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒木 邦彦 / Kunihiko Araki / アラキ クニヒコ
第8著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corporation (略称: Sony Semiconductor Manufacturing)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 根井 直毅 / Naoki Nei / ネイ ナオキ
第9著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corporation (略称: Sony Semiconductor Manufacturing)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 圭一 / Keiichi Nakazawa / ナカザワ ケイイチ
第10著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 山元 純平 / Junpei Yamamoto / ヤマモト ジュンペイ
第11著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 上原 睦雄 / Mutsuo Uehara / ウエハラ ムツオ
第12著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 川島 寛之 / Hiroyuki Kawashima / カワシマ ヒロユキ
第13著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corporation (略称: Sony Semiconductor Manufacturing)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 小林 悠作 / Yusaku Kobayashi / コバヤシ ユウサク
第14著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
Sony Semiconductor Manufacturing Corporation (略称: Sony Semiconductor Manufacturing)
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) 平野 智之 / Tomoyuki Hirano / ヒラノ トモユキ
第15著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) 田谷 圭司 / Keiji Tatani / タタニ ケイジ
第16著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
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講演者 第1著者 
発表日時 2022-08-08 09:15:00 
発表時間 45分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2022-33, ICD2022-1 
巻番号(vol) vol.122 
号番号(no) no.148(SDM), no.149(ICD) 
ページ範囲 pp.1-6 
ページ数
発行日 2022-08-01 (SDM, ICD) 


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