講演抄録/キーワード |
講演名 |
2022-07-18 13:15
[招待講演]イオンアシスト蒸着重合による有機・無機ハイブリッドポリマー積層構造の形成 宮山拓実・○臼井博明(東京農工大) OME2022-14 |
抄録 |
(和) |
有機アクリルモノマー stearyl acrylate (SA) 及びSiO2ナノケージを側鎖に持つ有機・無機ハイブリッド材料3-methacryloyloxypropylheptaisobutyl-T8-silsesquioxane (BuPOSSMA) をイオンアシスト蒸着法(IAD)によって製膜した.いずれの材料でもArイオン照射の下で蒸着することにより重合膜が形成され,表面平坦性や付着強度が改善した.さらに,チオール末端を持つ自己組織化膜を基板表面に形成し,その上にSA及びBuPOSSMAをIAD法で交互に積層することにより,数nmの層厚を持つ有機/ハイブリッド高分子薄膜多層積層構造が得られた.一方,単純な蒸着では多層構造を構築することはできなかった. |
(英) |
Organic monomer material of stearyl acrylate (SA) and organic-inorganic hybrid material of 3-methacryloyl-oxypropylheptaisobutyl-T8-silsesquioxane (BuPOSSMA), which has a core of SiO2 nano-cage, were deposited by ion-assisted deposition (IAD) method. Irradiation of Ar ion beam during the vapor deposition enhanced polymerization of these materials, enabling improvement in surface smoothness and adhesion strength. In addition, SA and BuPOSSMA were accumulated alternately by IAD on aluminum surface modified with a thiol-terminated self-assembled monolayer. As a consequence, organic/hybrid polymer multilayer structures having a layer thickness of a few nm were obtained. On the other hand, the conventional vapor deposition was unable to construct such a nanometric multilayer structure. |
キーワード |
(和) |
蒸着重合 / 有機無機ハイブリッド / 多層膜 / POSS / シルセスキオキサン / / / |
(英) |
Vapor Deposition Polymerization / Organic-Inorganic Hybrid Material / Multilayer / POSS / Silsesquioxane / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 116, OME2022-14, pp. 1-5, 2022年7月. |
資料番号 |
OME2022-14 |
発行日 |
2022-07-11 (OME) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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OME2022-14 |