講演抄録/キーワード |
講演名 |
2022-06-23 13:50
光学的線形判別分析を用いた誘電体表面上の微細な三次元凹凸識別の形状許容性検証 ○島田慎吾・杉坂純一郎・平山浩一・安井 崇(北見工大) EMT2022-5 |
抄録 |
(和) |
物体表面の凹凸を判別し,欠陥の種類を特定する技術として,様々な光計測手法が開発されている.しかし,光の波長以下の傷や塵埃などの微細な構造では,散乱波と欠陥の関係が複雑になり,正確に形状推定できない.本研究では,誘電体平板表面の微細な欠陥の凹凸を正しく識別するための計算機合成ホログラムを設計する.この素子は欠陥からの散乱波に対し,Fisherの線形判別と等価な処理を行うことができ,ホログラム透過後の光強度と閾値を比較するだけで凹凸を判別できる.ホログラムを用いない従来の光学系と比較して,正確に識別できることを示す.また,ホログラム設計時に使用した学習データには含まれない別の形状の欠陥に対してどの程度対応できるのかも検証する. |
(英) |
Measurement of a fine defect on a dielectric substrate is difficult because the relationship between the defect shape and the scattered waves is considerably complicated. In this study, we design a computer-generated hologram to discriminate concave defects from convex defects. The hologram operates Fisher's linear discrimination for the scattered wave from the defect. The defect type can be identified from the irradiance of the light wave after passing through the hologram. Compared to conventional optical systems without holograms, the proposed system achieves high discrimination accuracy. We also examine discrimination of the different shape of defects that are not included in the training data of the hologram. |
キーワード |
(和) |
逆散乱解析 / 光計測 / 計算機合成ホログラム / Fisherの線形判別分析 / / / / |
(英) |
inverse-scattering analysis / optical measurement / computer-generated hologram / Fisher’s linear discriminant analysis / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 122, no. 87, EMT2022-5, pp. 25-30, 2022年6月. |
資料番号 |
EMT2022-5 |
発行日 |
2022-06-16 (EMT) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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EMT2022-5 |