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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-05-27 14:15 自由電子レーザ照射による周期的微細構造生成 ○野平真義・星野陽太・岩田展幸（日大）  ED2022-9 CPM2022-3 SDM2022-16 |
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| 抄録 | （和） | 自由電子レーザを用いて周期的構造の生成を試みた。SiO2 (300 nm)/Si基板にフルバンチで、照射位置を2000、2500nmではそれぞれ50μm移動し、 3000、3500nmではそれぞれ10μ移動しレーザを照射した。1マクロパルス照射するごとに照射位置を移動させた。2000、2500 nmでは中心部に凸状突起を持つ構造を観察した。この構造の生成において波長は大きく関わっていないと考えている。3000、3500 nmでは波状の構造を確認した。この波状の構造は照射位置の移動により生成したものと考えている。バーストモードでの照射では間隔が波長程度の二つ穴構造を観察した。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | LIPSS / 自由電子レーザ / FEL / 微細周期構造 / レーザ加工 / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 122, no. 53, CPM2022-3, pp. 9-12, 2022年5月. | |
| 資料番号 | CPM2022-3 | |
| 発行日 | 2022-05-20 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2022-9 CPM2022-3 SDM2022-16 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED CPM |
| 開催期間 | 2022-05-27 - 2022-05-27 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | Functional Device Materials, Fabrication, Characterization, and Related Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2022-05-SDM-ED-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 自由電子レーザ照射による周期的微細構造生成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Formation of Periodical Unique Structure by Free Electron Laser Irradiation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LIPSS / |
| キーワード(2)（和/英） | 自由電子レーザ / |
| キーワード(3)（和/英） | FEL / |
| キーワード(4)（和/英） | 微細周期構造 / |
| キーワード(5)（和/英） | レーザ加工 / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野平 真義 / Masayoshi Nohira / ノヒラ マサヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 星野 陽太 / Youta Hoshino / ホシノ ヨウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 展幸 / Nobuyuki Iwata / イワタ ノブユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-05-27 14:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2022-9, CPM2022-3, SDM2022-16 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | no.52(ED), no.53(CPM), no.54(SDM) |
| ページ範囲 | pp.9-12 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2022-05-20 (ED, CPM, SDM) |
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