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講演抄録/キーワード
講演名 2022-02-04 11:20
[招待講演]3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー
中澤圭一・○山元純平藤井宣年上原睦雄平松克規熊野秀臣森 茂貴岡本晋太郎清水暁人馬場公一大沼英寿松本 晃財津光一郎田谷圭司平野智之岩元勇人ソニーセミコンダクタソリューションズSDM2021-77 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2021-77
抄録 (和) 我々はフォトダイオードと画素トランジスタの層を別々の基板に形成し積層した“2層トランジスタ画素積層型CMOSイメージセンサー”( 2-Layer Pixel )を開発した。この新構造イメージセンサーは、熱的な安定性を備えた接合技術と、ディープコンタクト技術を適用した3Dシーケンシャルプロセスインテグレーションを用いて製造した。本技術の適用により、アンプトランジスタのサイズ拡大に成功した。また画素ピッチが0.7µmで6753×4928画素の裏面照射型CMOSイメージセンサーを実際に構築し、画出しに成功した。 
(英) We developed a new structure of pixel transistors stacked over photodiode named “2-Layer Transistor Pixel Stacked CMOS Image Sensor” (2-Layer Pixel). It was fabricated by 3D sequential process integration with new process techniques, such as thermally stable wafer bonding and deep contacts. With this technology, we successfully increased AMP size and demonstrated backside-illuminated CMOS image sensor of 6752 x 4928 pixels at 0.7um pitch to prove its functionality and integrity.
キーワード (和) 3Dシーケンシャル / 2-Layer Pixel / 接合 / ディープコンタクト / / / /  
(英) 3D Sequential / 2-Layer Pixel / wafer bonding / deep contact / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 121, no. 366, SDM2021-77, pp. 13-16, 2022年2月.
資料番号 SDM2021-77 
発行日 2022-01-28 (SDM) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2021-77 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2021-77

研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2022-02-04 - 2022-02-04 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 配線・実装技術と関連材料技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2022-02-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) 3D Sequential Process Integration for CMOS Image Sensor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 3Dシーケンシャル / 3D Sequential  
キーワード(2)(和/英) 2-Layer Pixel / 2-Layer Pixel  
キーワード(3)(和/英) 接合 / wafer bonding  
キーワード(4)(和/英) ディープコンタクト / deep contact  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 圭一 / Keiichi Nakazawa / ナカザワ ケイイチ
第1著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 山元 純平 / Junpei Yamamoto / ヤマモト ジュンペイ
第2著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤井 宣年 / Nobutoshi Fujii / フジイ ノブトシ
第3著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 上原 睦雄 / Mutsuo Uehara / ウエハラ ムツオ
第4著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 平松 克規 / Katsunori Hiramatsu / ヒラマツ カツノリ
第5著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 熊野 秀臣 / Hideomi Kumano / クマノ ヒデオミ
第6著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 森 茂貴 / Shigetaka Mori / モリ シゲタカ
第7著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡本 晋太郎 / Shintaro Okamoto / オカモト シンタロウ
第8著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 暁人 / Akito Shimizu / シミズ アキト
第9著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 馬場 公一 / Koichi Baba / ババ コウイチ
第10著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 大沼 英寿 / Hidetoshi Onuma / オオヌマ ヒデトシ
第11著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 晃 / Akira Matsumoto / マツモト アキラ
第12著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) 財津 光一郎 / Koichiro Zaitsu / ザイツ コウイチロウ
第13著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) 田谷 圭司 / Keiji Tanani / タタニ ケイジ
第14著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) 平野 智之 / Tomoyuki Hirano / ヒラノ トモユキ
第15著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) 岩元 勇人 / Hayato Iwamoto / イワモト ハヤト
第16著者 所属(和/英) ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 (略称: ソニーセミコンダクタソリューションズ)
Sony Semiconductor Solutions Corporation (略称: Sony Semiconductor Solutions)
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講演者 第2著者 
発表日時 2022-02-04 11:20:00 
発表時間 40分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2021-77 
巻番号(vol) vol.121 
号番号(no) no.366 
ページ範囲 pp.13-16 
ページ数
発行日 2022-01-28 (SDM) 


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