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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-01-31 14:15 ［招待講演］高速荷電中心解析によるチャージトラップのダイナミクス把握に基づくHfO2-FeFETサイクル劣化メカニズム解明 ○市原玲華（キオクシア）  SDM2021-70 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2021-70 |
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| 抄録 | （和） | HfO2-FeFETで生じる様々な種類のチャージトラップのサイクル過程における挙動を、高速電流計測に基づく荷電中心解析によって捉え、HfO2-FeFETにおけるサイクル劣化の機構を解析した。HfO2/SiO2界面に生じるトラップ電子がサイクルを経ることで固定化し、erase動作における付加的で可逆なホールトラップを誘起することでVthウインドウが縮小することを明らかにした。 |
| （英） | e establish an accurate picture of cycling degradation in HfO2-FeFET based on the dynamics of various charge-trapping revealed by fast charge centroid analysis. Cycling-induced fixed electron at HfO2/SiO2 interface induces an additional reversible hole-trapping leading to Vth window narrowing. | |
| キーワード | （和） | 強誘電 / HfO2 / FeFET / チャージトラップ / 自発分極 / サイクル劣化 / Vthウインドウ / |
| （英） | ferroelectric / HfO2 / FeFET / charge-trapping / spontaneous polarization / cycling degradation / Vth window / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 365, SDM2021-70, pp. 9-11, 2022年1月. | |
| 資料番号 | SDM2021-70 | |
| 発行日 | 2022-01-24 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2021-70 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2021-70 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2022-01-31 - 2022-01-31 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 先端ＣＭＯＳデバイス・ プロセス技術（ＩＥＤＭ特集） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2022-01-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 高速荷電中心解析によるチャージトラップのダイナミクス把握に基づくHfO2-FeFETサイクル劣化メカニズム解明 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | **** |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 強誘電 / ferroelectric |
| キーワード(2)（和/英） | HfO2 / HfO2 |
| キーワード(3)（和/英） | FeFET / FeFET |
| キーワード(4)（和/英） | チャージトラップ / charge-trapping |
| キーワード(5)（和/英） | 自発分極 / spontaneous polarization |
| キーワード(6)（和/英） | サイクル劣化 / cycling degradation |
| キーワード(7)（和/英） | Vthウインドウ / Vth window |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 市原 玲華 / Reika Ichihara / イチハラ レイカ |
| 第1著者 所属（和/英） | キオクシア (略称： キオクシア) Kioxia (略称： Kioxia) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-01-31 14:15:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2021-70 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.365 |
| ページ範囲 | pp.9-11 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2022-01-24 (SDM) |
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