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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2022-01-21 13:35 ［招待講演］10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価 ○山栄大樹（横浜国大/学振）・竹内尚輝・吉川信行（横浜国大）  SCE2021-12 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2021-12 |
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| 抄録 | （和） | 断熱量子磁束パラメトロン（AQFP）は断熱スイッチによって低スイッチングエネルギーで動作可能な超伝導回路である．本研究では，平坦化プロセスであるAIST 10 kA/cm2 Nb planarized high-speed standard process（PHSTP）を用いたAQFP回路の歩留まり評価を行った．測定した歩留まり評価回路は，1ブロックあたり約1800接合のAQFPゲートを1チップに10ブロック配置したものである．低速測定において，合計10チップ測定した結果，約1800接合のAQFPゲートの歩留まり率は77%であった． |
| （英） | Adiabatic quantum-flux-parametron (AQFP) logic is a superconducting logic family that can operate with low switching energy due to the adiabatic switching. In the present study, we conduct yield evaluation of AQFP circuits using AIST 10 kA/cm2 Nb planarized high-speed standard process (PHSTP). AQFP circuits for yield evaluation are composed of ten blocks, which are approximately 1800-junction AQFP gates per block. The yield of 1800-junction AQFP gates is 77% obtained by 10 chips at low-speed test. | |
| キーワード | （和） | 超伝導集積回路 / 断熱量子磁束パラメトロン（AQFP） / 平坦化プロセス / 歩留まり評価 / / / / |
| （英） | superconducting integrated circuit / adiabatic quantum-flux-parametron (AQFP) / planarization process / yield evaluation / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 340, SCE2021-12, pp. 1-5, 2022年1月. | |
| 資料番号 | SCE2021-12 | |
| 発行日 | 2022-01-14 (SCE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2021-12 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2021-12 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2022-01-21 - 2022-01-21 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 超伝導エレクトロニクス一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2022-01-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Yield evaluation of adiabatic quantum-flux-parametron circuits using a planarized 10 kA/cm2 niobium process |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導集積回路 / superconducting integrated circuit |
| キーワード(2)（和/英） | 断熱量子磁束パラメトロン（AQFP） / adiabatic quantum-flux-parametron (AQFP) |
| キーワード(3)（和/英） | 平坦化プロセス / planarization process |
| キーワード(4)（和/英） | 歩留まり評価 / yield evaluation |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山栄 大樹 / Taiki Yamae / ヤマエ タイキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 横浜国立大学/日本学術振興会特別研究員 (略称： 横浜国大/学振) Yokohama National University/JSPS Research Fellow (略称： Yokohama Natl. Univ./JSPS Research Fellow) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹内 尚輝 / Naoki Takeuchi / タケウチ ナオキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama Natl. Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉川 信行 / Nobuyuki Yoshikawa / ヨシカワ ノブユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama Natl. Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2022-01-21 13:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2021-12 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.340 |
| ページ範囲 | pp.1-5 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-01-14 (SCE) |
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