講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-12-21 10:45
[招待講演]MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツ検出 ○平川一彦・邱 博奇・牛 天野(東大)・張 亜(東京農工大)・長井奈緒美・渡辺宣朗(東大) ED2021-59 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2021-59 |
抄録 |
(和) |
MEMS両持ち梁共振器構造は、典型的な共振周波数が数百kHz〜数MHzにあり、室温でも数千〜1万程度の高いQ値を有している。我々は、1)機械的な共振周波数が梁の熱膨張により非常に敏感に変化すること、2)MEMS梁構造の熱容量が極めて小さく、高速動作に適していること等に注目して、MEMSのテラヘルツセンシング応用の研究を行っている。本講演では、テラヘルツ電磁波の吸収によるわずかな温度上昇を、半導体へテロ構造で作製したMEMS両持ち梁共振器の共振周波数シフトとして読み出す新しい原理のテラヘルツ検出器が、従来の室温動作熱型センサーと同等の感度を有しつつ、10〜100倍程度高速な検出ができることを紹介したい。 |
(英) |
The MEMS doubly clamped beam resonator structure has a typical resonant frequency in the range of several hundred kHz to several MHz, and a high Q-factor of several thousand to ten thousand even at room temperature. We have been studying the terahertz sensing applications of MEMS, focusing on the fact that 1) the mechanical resonant frequency changes very sensitively due to the thermal expansion of the beam, and 2) the heat capacitance of the MEMS beam structure is extremely small, which is suitable for high-speed operation. In this presentation, we would like to introduce a new terahertz detector based on a new operation principle that reads a slight temperature rise due to the absorption of terahertz electromagnetic waves as a resonant frequency shift of a MEMS beam resonator fabricated with a semiconductor heterostructure. We show that the present MEMS detectors are faster by 10 to 100 times than conventional room temperature thermal sensors. |
キーワード |
(和) |
MEMS / テラヘルツ電磁波 / 熱型センサー / ボロメータ / / / / |
(英) |
MEMS / terahertz electromagnetic wave / thermal sensor / bolometer / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 309, ED2021-59, pp. 53-57, 2021年12月. |
資料番号 |
ED2021-59 |
発行日 |
2021-12-13 (ED) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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