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講演抄録/キーワード
講演名 2021-12-21 10:45
[招待講演]MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツ検出
平川一彦邱 博奇牛 天野東大)・張 亜東京農工大)・長井奈緒美渡辺宣朗東大ED2021-59 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2021-59
抄録 (和) MEMS両持ち梁共振器構造は、典型的な共振周波数が数百kHz〜数MHzにあり、室温でも数千〜1万程度の高いQ値を有している。我々は、1)機械的な共振周波数が梁の熱膨張により非常に敏感に変化すること、2)MEMS梁構造の熱容量が極めて小さく、高速動作に適していること等に注目して、MEMSのテラヘルツセンシング応用の研究を行っている。本講演では、テラヘルツ電磁波の吸収によるわずかな温度上昇を、半導体へテロ構造で作製したMEMS両持ち梁共振器の共振周波数シフトとして読み出す新しい原理のテラヘルツ検出器が、従来の室温動作熱型センサーと同等の感度を有しつつ、10〜100倍程度高速な検出ができることを紹介したい。 
(英) The MEMS doubly clamped beam resonator structure has a typical resonant frequency in the range of several hundred kHz to several MHz, and a high Q-factor of several thousand to ten thousand even at room temperature. We have been studying the terahertz sensing applications of MEMS, focusing on the fact that 1) the mechanical resonant frequency changes very sensitively due to the thermal expansion of the beam, and 2) the heat capacitance of the MEMS beam structure is extremely small, which is suitable for high-speed operation. In this presentation, we would like to introduce a new terahertz detector based on a new operation principle that reads a slight temperature rise due to the absorption of terahertz electromagnetic waves as a resonant frequency shift of a MEMS beam resonator fabricated with a semiconductor heterostructure. We show that the present MEMS detectors are faster by 10 to 100 times than conventional room temperature thermal sensors.
キーワード (和) MEMS / テラヘルツ電磁波 / 熱型センサー / ボロメータ / / / /  
(英) MEMS / terahertz electromagnetic wave / thermal sensor / bolometer / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 121, no. 309, ED2021-59, pp. 53-57, 2021年12月.
資料番号 ED2021-59 
発行日 2021-12-13 (ED) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2021-59 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2021-59

研究会情報
研究会 ED THz  
開催期間 2021-12-20 - 2021-12-21 
開催地(和) 東北大学・電気通信研究所 
開催地(英)  
テーマ(和) ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2021-12-ED-THz 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツ検出 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) High-sensitivity, fast detection of terahertz radiation at room temperature using MEMS resonators 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(2)(和/英) テラヘルツ電磁波 / terahertz electromagnetic wave  
キーワード(3)(和/英) 熱型センサー / thermal sensor  
キーワード(4)(和/英) ボロメータ / bolometer  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 平川 一彦 / Kazuhiko Hirakawa / ヒラカワ カズヒコ
第1著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: UTokyo)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 邱 博奇 / Boqi Qiu / チュウ ボチ
第2著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: UTokyo)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 牛 天野 / Tianye Niu / ニュウ テンヤ
第3著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: UTokyo)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 張 亜 / Ya Zhang / ヤ チャン
第4著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 長井 奈緒美 / Naomi Nagai / ナガイ ナオミ
第5著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: UTokyo)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡辺 宣朗 / Nobuaki Watanabe / ワタナベ ノブアキ
第6著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: UTokyo)
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講演者 第1著者 
発表日時 2021-12-21 10:45:00 
発表時間 40分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2021-59 
巻番号(vol) vol.121 
号番号(no) no.309 
ページ範囲 pp.53-57 
ページ数
発行日 2021-12-13 (ED) 


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