講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-12-20 17:15
動作しているGaN-HEMTの表面電子捕獲の時空間ダイナミクスの観測 ○吹留博一(東北大) ED2021-58 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2021-58 |
抄録 |
(和) |
GaN-HEMTの電流コラプス現象の大きな要因である表面電子捕獲は、重要な研究課題である。高い時空間分解能を有する。我々は、X線分光を用いて、動作しているGaN-HEMT表面における電子捕獲過程に伴う表面化学結合の時空間的変化を、元素選択的に直接観測することに成功した。この観測結果は、従来の巨視的な電気計測法や走査型プローブ顕微鏡では決して観測できないものである。その結果、表面電子捕獲の時空間ダイナミクス下が、DC電圧下と高周波電圧下において大きく異なることを明らかにすることができた。本観測結果に基づき、GaN-HEMTの表面電子捕獲機構を提案した。 |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
GaN-HEMT / オペランド分光 / X線分光 / 高時空間分解 / / / / |
(英) |
/ / / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 309, ED2021-58, pp. 48-52, 2021年12月. |
資料番号 |
ED2021-58 |
発行日 |
2021-12-13 (ED) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
ED2021-58 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2021-58 |