講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-06-11 10:25
傾斜配向Co/Pt多層磁性膜の作製と本質的な一軸異方性の定量解析 ○宮崎大輝・斉藤 伸(東北大)・本多直樹・田河育也(東北工大) MRIS2021-5 エレソ技報アーカイブへのリンク:MRIS2021-5 |
抄録 |
(和) |
傾斜配向磁性膜において結晶配向軸の傾斜角度の定量的な評価を行うとともに、膜の形状磁気異方性を含んだ実効的な磁気異方性エネルギー Kueffと、磁性結晶粒の本質的な磁気異方性エネルギー Kugrainの分離方法を検討した。測定試料は、TaとPtからなる下地層を基板法線方向から60°傾斜したコリメータを用いて成膜し、その上にCo/Pt多層磁性膜を成膜した。結晶配向軸傾斜角度の定量評価のため、3次元極座標 X線回折によるロッキングカーブ測定、および、Polar-Kerr装置によるスイッチング磁界の角度依存性測定を行った。また、トルク曲線から結晶磁気異方性エネルギーを導出する際に、結晶配向軸の傾斜角度を補正することにより、傾斜配向媒体でも、KueffとKugrainの両方を定量的に導出することができた。 |
(英) |
The tilt angle of the crystal orientation axis was quantitatively evaluated for tilt-oriented magnetic film, and a method for separating the effective crystal magnetic anisotropy energy Kueff of the film from the intrinsic crystal magnetic anisotropy energy Kugrain of magnetic crystal particles was investigated. As a measurement sample, a Co/Pt multilayer magnetic film was formed on an underlayer composed of Ta and Pt by sputtering with a cylindrical collimator at an inclined incident angle of 60 deg. To quantitatively evaluate the crystal inclination angle, a rocking curve was measured with a three-dimensional polar-coordinate X-ray diffraction system, and in addition, the angle dependence of the magnetic switching field Hsw was measured with a Polar-Kerr system. It was also shown that both Kueff and Kugrain can be separated quantitatively even in tilt-oriented magnetic films by correcting the inclination angle of the crystal orientation axis when deriving the crystal magnetic anisotropy energy from a torque curve. |
キーワード |
(和) |
傾斜配向磁性膜 / 結晶配向軸の傾斜角度 / 実効的な磁気異方性エネルギー / 磁性結晶粒の本質的な磁気異方性エネルギー / / / / |
(英) |
tilt-oriented magnetic film / tilt angle of crystal orientation axis / effective crystal magnetic anisotropy energy / essential crystal magnetic anisotropy energy / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 121, no. 60, MRIS2021-5, pp. 22-27, 2021年6月. |
資料番号 |
MRIS2021-5 |
発行日 |
2021-06-03 (MRIS) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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