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講演抄録/キーワード
講演名 2021-06-11 10:25
傾斜配向Co/Pt多層磁性膜の作製と本質的な一軸異方性の定量解析
宮崎大輝斉藤 伸東北大)・本多直樹田河育也東北工大MRIS2021-5
抄録 (和) 傾斜配向磁性膜において結晶配向軸の傾斜角度の定量的な評価を行うとともに、膜の形状磁気異方性を含んだ実効的な磁気異方性エネルギー Kueffと、磁性結晶粒の本質的な磁気異方性エネルギー Kugrainの分離方法を検討した。測定試料は、TaとPtからなる下地層を基板法線方向から60°傾斜したコリメータを用いて成膜し、その上にCo/Pt多層磁性膜を成膜した。結晶配向軸傾斜角度の定量評価のため、3次元極座標 X線回折によるロッキングカーブ測定、および、Polar-Kerr装置によるスイッチング磁界の角度依存性測定を行った。また、トルク曲線から結晶磁気異方性エネルギーを導出する際に、結晶配向軸の傾斜角度を補正することにより、傾斜配向媒体でも、KueffとKugrainの両方を定量的に導出することができた。 
(英) The tilt angle of the crystal orientation axis was quantitatively evaluated for tilt-oriented magnetic film, and a method for separating the effective crystal magnetic anisotropy energy Kueff of the film from the intrinsic crystal magnetic anisotropy energy Kugrain of magnetic crystal particles was investigated. As a measurement sample, a Co/Pt multilayer magnetic film was formed on an underlayer composed of Ta and Pt by sputtering with a cylindrical collimator at an inclined incident angle of 60 deg. To quantitatively evaluate the crystal inclination angle, a rocking curve was measured with a three-dimensional polar-coordinate X-ray diffraction system, and in addition, the angle dependence of the magnetic switching field Hsw was measured with a Polar-Kerr system. It was also shown that both Kueff and Kugrain can be separated quantitatively even in tilt-oriented magnetic films by correcting the inclination angle of the crystal orientation axis when deriving the crystal magnetic anisotropy energy from a torque curve.
キーワード (和) 傾斜配向磁性膜 / 結晶配向軸の傾斜角度 / 実効的な磁気異方性エネルギー / 磁性結晶粒の本質的な磁気異方性エネルギー / / / /  
(英) tilt-oriented magnetic film / tilt angle of crystal orientation axis / effective crystal magnetic anisotropy energy / essential crystal magnetic anisotropy energy / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 121, no. 60, MRIS2021-5, pp. 22-27, 2021年6月.
資料番号 MRIS2021-5 
発行日 2021-06-03 (MRIS) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
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PDFダウンロード MRIS2021-5

研究会情報
研究会 MRIS ITE-MMS  
開催期間 2021-06-10 - 2021-06-11 
開催地(和) 東北大通研 
開催地(英) RIEC, Tohoku U. 
テーマ(和) 記録システム,一般 
テーマ(英) Recording systems, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MRIS 
会議コード 2021-06-MRIS-MMS 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 傾斜配向Co/Pt多層磁性膜の作製と本質的な一軸異方性の定量解析 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of tilt-oriented Co/Pt multilayer magnetic film and quantitative analysis of intrinsic uniaxial anisotropy 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 傾斜配向磁性膜 / tilt-oriented magnetic film  
キーワード(2)(和/英) 結晶配向軸の傾斜角度 / tilt angle of crystal orientation axis  
キーワード(3)(和/英) 実効的な磁気異方性エネルギー / effective crystal magnetic anisotropy energy  
キーワード(4)(和/英) 磁性結晶粒の本質的な磁気異方性エネルギー / essential crystal magnetic anisotropy energy  
キーワード(5)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮崎 大輝 / Daiki Miyazaki / ミヤザキ ダイキ
第1著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 斉藤 伸 / Shin Saito / サイトウ シン
第2著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 本多 直樹 / Naoki Honda / ホンダ ナオキ
第3著者 所属(和/英) 東北工業大学 (略称: 東北工大)
Tohoku Institute of Technology (略称: Tohoku Inst. Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 田河 育也 / Ikuya Tagawa / タガワ イクヤ
第4著者 所属(和/英) 東北工業大学 (略称: 東北工大)
Tohoku Institute of Technology (略称: Tohoku Inst. Tech.)
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講演者
発表日時 2021-06-11 10:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 MRIS 
資料番号 IEICE-MRIS2021-5 
巻番号(vol) IEICE-121 
号番号(no) no.60 
ページ範囲 pp.22-27 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-MRIS-2021-06-03 


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