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| 講演名 | 2021-05-27 13:00 ［招待講演］Siナノ構造の熱電特性と測定技術の構築 ○池田浩也（静岡大）  ED2021-1 CPM2021-1 SDM2021-12 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2021-1 CPM2021-1 SDM2021-12 |
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| 抄録 | （和） | シリコンのナノ構造化により，熱電変換デバイス性能の向上が期待されている．シリコンのゼーベック係数にはフォノンドラッグの効果も強く寄与しているが，その詳細はまだ明らかになっていない．本研究では，極薄SOI（Si on insulator）層やSiマイクロリボン構造の実験結果を基にして，フォノンドラッグの効果についてフォノン輸送の観点から考察を行った結果を報告する．また，ナノ構造材料に適用可能な新しい熱電特性評価方法として，ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM）を用いたゼーベック係数測定技術を確立し，極薄SOI層の測定によりその有用性を実証した．さらに，走査電子顕微鏡（SEM）と赤外線熱画像カメラを組み合わせた，ナノワイヤ材料に適用可能な熱拡散率測定手法についても紹介する． |
| （英） | The enhancement of the thermoelectric performance has been expected by Si nanostrucutres. The Si Seebeck coefficient is strongly dependent upon the influence of phonon drag, which, however, is not sufficiently understood yet. In the present report, we discussed on the contribution of phonon drag to the Seebeck coefficient in ultrathin Si-on-insulator (SOI) layers and Si microribbon structures from the viewpoint of phonon transport, based on the experimental results of the Seebeck coefficient. In addition, with the aim of measuring the Seebeck coefficient of nanometer-scale materials, we have developed a novel technique using Kelvin-probe force microscopy (KFM) and demonstrate the evaluation of Seebeck coefficient of ultrathin SOI.A novel thermal-diffusivity evaluation by scanning electron microscopy (SEM) together with infrared (IR) thermography is also demonstrated to be applicable for nanowire materials. | |
| キーワード | （和） | ゼーベック係数 / フォノンドラッグ / ケルビンプローブフォース顕微鏡 / 熱拡散率 / ACカロリメトリ法 / / / |
| （英） | Seebeck coefficient / phonon drag / Kelvin-probe force microscopy / thermal diffusivity / AC calorimetory / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 121, no. 46, SDM2021-12, pp. 1-6, 2021年5月. | |
| 資料番号 | SDM2021-12 | |
| 発行日 | 2021-05-20 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2021-1 CPM2021-1 SDM2021-12 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2021-1 CPM2021-1 SDM2021-12 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED SDM CPM |
| 開催期間 | 2021-05-27 - 2021-05-27 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2021-05-ED-SDM-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Siナノ構造の熱電特性と測定技術の構築 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Thermoelectric properties of Si nanostructures and their characterization techniques |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ゼーベック係数 / Seebeck coefficient |
| キーワード(2)（和/英） | フォノンドラッグ / phonon drag |
| キーワード(3)（和/英） | ケルビンプローブフォース顕微鏡 / Kelvin-probe force microscopy |
| キーワード(4)（和/英） | 熱拡散率 / thermal diffusivity |
| キーワード(5)（和/英） | ACカロリメトリ法 / AC calorimetory |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池田 浩也 / Hiroya Ikeda / イケダ ヒロヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-05-27 13:00:00 |
| 発表時間 | 45分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | ED2021-1, CPM2021-1, SDM2021-12 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | no.44(ED), no.45(CPM), no.46(SDM) |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-05-20 (ED, CPM, SDM) |
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