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講演抄録/キーワード
講演名 2021-03-05 10:55
円筒空洞共振器法を用いた薄型誘電体フィルムの高能率温度依存性評価に関する検討
木村泰希古神義則清水隆志宇都宮大MW2020-92
抄録 (和) 円筒空洞共振器法を用いた厚さ100μm以下のフィルム試料の高精度の温度依存性測定には、測定温度の安定に充分な時間をかける必要があり、その測定には2日間程度の時間を要し、非効率的であった。本研究では、温度依存性評価の高能率化を目的とし、数時間程度で温度依存性測定が可能な手法を見出す。36GHz帯材料評価用共振器および50μm厚PTFEフィルムを用いて検討した結果、空気乾燥機を導入し、高温から低温へ温度変化することで、高精度かつ高能率に温度依存性評価が行えることを実証した。 
(英) It is inefficient to evaluate temperature dependence for a dielectric thin film with thickness of 100 um or below by a circular cavity resonator method because this evaluation procedure takes long time to stabilize the temperature. In this study, in order to improve the efficiency of this evaluation procedure, we propose a procedure that can evaluate temperature dependence in a short time. Temperature dependence of PTFE films with a thickness of about 50 um are measured using 36 GHz band resonator by various measurement conditions for temperature and humidity control. As a result, the proposed procedure has five times efficient than the conventional one by using air dryers and starting high temperature side.
キーワード (和) 複素誘電率 / 温度依存性 / 円筒空洞共振器法 / ミリ波 / / / /  
(英) Complex permittivity / Temperature dependence / Circular cavity resonator method / Millimeter wave / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 120, no. 422, MW2020-92, pp. 7-12, 2021年3月.
資料番号 MW2020-92 
発行日 2021-02-26 (MW) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード MW2020-92

研究会情報
研究会 MW  
開催期間 2021-03-05 - 2021-03-05 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) マイクロ波一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MW 
会議コード 2021-03-MW 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 円筒空洞共振器法を用いた薄型誘電体フィルムの高能率温度依存性評価に関する検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Study on an efficient evaluation of temperature dependence for a dielectric thin film by a circular cavity resonator method 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 複素誘電率 / Complex permittivity  
キーワード(2)(和/英) 温度依存性 / Temperature dependence  
キーワード(3)(和/英) 円筒空洞共振器法 / Circular cavity resonator method  
キーワード(4)(和/英) ミリ波 / Millimeter wave  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 木村 泰希 / Taiki Kimura / キムラ タイキ
第1著者 所属(和/英) 宇都宮大学 (略称: 宇都宮大)
Utsunomiya University (略称: Utsunomiya Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 古神 義則 / Yoshinori Kogami / コガミ ヨシノリ
第2著者 所属(和/英) 宇都宮大学 (略称: 宇都宮大)
Utsunomiya University (略称: Utsunomiya Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 隆志 / Takashi Shimizu / シミズ タカシ
第3著者 所属(和/英) 宇都宮大学 (略称: 宇都宮大)
Utsunomiya University (略称: Utsunomiya Univ.)
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講演者
発表日時 2021-03-05 10:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 MW 
資料番号 IEICE-MW2020-92 
巻番号(vol) IEICE-120 
号番号(no) no.422 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-MW-2021-02-26 


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