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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2021-03-03 09:25 球状弾性表面波センサを用いる微量水分インバースガスクロマトグラフィの基礎検討 ○辻 俊宏・小原良和・三原 毅（東北大）  US2020-78 |
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| 抄録 | （和） | 高純度ガスを扱うためのステンレス配管システムにおいては極低濃度の水分(微量水分)の吸脱着が問題になり得る。その調査には規定濃度のプローブガスの通過挙動を測定するインバースガスクロマトグラフィ(IGC)が有効と考えられるが、検出器の小型化やユーティリティの確保に課題があり、現場配管に適用可能な計測法はまだ開発されていない。本稿では球状弾性表面波センサによる微量水分測定を用いたIGCについて基礎検討を行った結果を報告する。 |
| （英） | The adsorption and desorption of the trace moisture less than 1ppmv may cause the problems in stainless-steel tube system for highly pure gas. A concept of inverse gas chromatography (IGC), that measures the behavior of probe gas with known concentration passing through, is useful for the inspection. However, on-site measurement method has not been developed because of difficulties in down-sizing and preparing the equipment such as vacuum pumping and sufficient power source. In this paper, we report preliminary results for realizing IGC using the ball surface acoustic wave trace moisture sensor. | |
| キーワード | （和） | 微量水分 / インバースガスクロマトグラフィ / 球状弾性表面波センサ / ステンレス配管 / / / / |
| （英） | trace moisture / inverse gas chromatography / ball surface acoustic wave sensor / stainless steel tube / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 396, US2020-78, pp. 7-12, 2021年3月. | |
| 資料番号 | US2020-78 | |
| 発行日 | 2021-02-24 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2020-78 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US SP SIP IPSJ-SLP |
| 開催期間 | 2021-03-03 - 2021-03-04 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 音声,応用／電気音響,信号処理，超音波，一般 |
| テーマ（英） | Speech, Engineering/Electro Acoustics, Signal Processing, Ultrasonics, and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2021-03-EA-US-SP-SIP-SLP |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 球状弾性表面波センサを用いる微量水分インバースガスクロマトグラフィの基礎検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fundamental study of trace-moisture inverse gas chromatography using ball surface acoustic wave sensor |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 微量水分 / trace moisture |
| キーワード(2)（和/英） | インバースガスクロマトグラフィ / inverse gas chromatography |
| キーワード(3)（和/英） | 球状弾性表面波センサ / ball surface acoustic wave sensor |
| キーワード(4)（和/英） | ステンレス配管 / stainless steel tube |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 辻 俊宏 / Toshihiro Tsuji / ツジ トシヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小原 良和 / Yoshikazu Ohara / オハラ ヨシカズ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三原 毅 / Tsuyoshi Mihara / ミハラ ツヨシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2021-03-03 09:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2020-78 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.396 |
| ページ範囲 | pp.7-12 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-02-24 (US) |
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