講演抄録/キーワード |
講演名 |
2021-01-28 15:35
[招待講演]プラズマ曝露中に確率的ラテラル散乱によって導入されるシリコン中の欠陥が超低リーク電流デバイスに与える影響の評価 ○佐藤好弘・山田隆善・西村佳壽子・山崎雅之・村上雅史(パナソニック)・占部継一郎・江利口浩二(京大) SDM2020-53 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2020-53 |
抄録 |
(和) |
イメージセンサに代表される超低リーク電流デバイスを設計する上で,極微少量欠陥の存在および分布がデバイス特性に及ぼす影響を理解することが非常に重要である.微細化が進展するにつれ,プラズマ処理中の入射イオンの「確率的な横方向への散乱(ラテラル散乱)」の影響は相対的に増大する.従来の電気的分析手法では極微少量の欠陥を横方向と縦(深さ)方向に区別することは困難である.そこで今回我々は,横方向pn接合の接合距離を変化させたデバイス構造を設計した.この構造を用いて,プラズマ誘起ダメージ生成に伴う接合リーク電流の変化を解析することで,横方向に分布する極微少量欠陥の存在および密度分布を明らかにした.本稿ではさらに,CMOSイメージセンサベースの構造を用いて,pn接合リーク電流(暗電流)の温度依存性から活性化エネルギーを評価し,欠陥の統計的特徴について議論を展開する. |
(英) |
In the design of ultra-low leakage devices such as image sensors, it is critical to understand the distribution of an extremely small number of defects and the effect of their presence on device performances. As the device size is scaled down, the effect of "stochastic lateral straggling" of incident species during plasma processing on device performance becomes enhanced. It is difficult to distinguish an extremely small number of defects in the lateral and vertical directions using conventional electrical analysis methods. In this study, we have designed device structures with various distances of pn junction in the lateral direction. We analyzed the change in junction leakage current due to plasma-induced damage using the structures and clarified the density and profile of defects in the lateral direction. Furthermore, we have investigated the activation energy from the temperature dependence of junction leakage current (dark current) using CMOS image sensor-based structures and discuss the statistical features of the defects. |
キーワード |
(和) |
プラズマ誘起ダメージ / 欠陥 / ラテラル散乱 / pn接合 / / / / |
(英) |
Plasma-induced damage / defect / lateral straggling / pn junction / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 352, SDM2020-53, pp. 17-20, 2021年1月. |
資料番号 |
SDM2020-53 |
発行日 |
2021-01-21 (SDM) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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