講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-11-27 13:00
GaNトンネル接合を備えたLEDにおける横方向Mg活性化の最適化 ○田先美貴子・清原一樹・小田原麻人・伊藤太一・竹内哲也・上山 智・岩谷素顕(名城大)・赤﨑 勇(名大) ED2020-18 CPM2020-39 LQE2020-69 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2020-18 CPM2020-39 LQE2020-69 |
抄録 |
(和) |
GaNトンネル接合を有する電流狭窄構造は、LEDやレーザダイオードに利用されている。上部n-GaN層がトンネル接合とp型層を厚く覆っているため、横方向Mg活性化として、高温(725℃)長時間(30分)の熱アニールが必要である。本報告では、酸素および窒素雰囲気下で様々な温度、時間にて上記Mg活性化を行い、より高い発光強度が得られるMg活性化条件(酸素雰囲気下725℃×45分と800℃×15分)を明らかにした。一方で、酸素雰囲気下でアニールすると、nコンタクト抵抗が増大してしまうことも見出した。 |
(英) |
Current confinement structures with GaN tunnel junctions have been utilized in LEDs and laser diodes. In such devices, a lateral Mg activation with high annealing temperature (725℃) and long time (30min) is required. In this study, we carried out Mg activations under various conditions, such as temperatures, time, and atmospheric gases (O2 or N2). We then found that higher light output power values were obtained by using 725℃ for 45min and 800℃ for 15min under oxygen gas. On the other hand, n-contact resistances were increased by the annealing under oxygen gas. |
キーワード |
(和) |
GaNトンネル接合 / 横方向Mg活性化 / 熱アニール / / / / / |
(英) |
GaN tunnel junctions / lateral Mg activation / annealing / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 256, LQE2020-69, pp. 67-70, 2020年11月. |
資料番号 |
LQE2020-69 |
発行日 |
2020-11-19 (ED, CPM, LQE) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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