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講演抄録/キーワード
講演名 2020-11-20 15:30
RAS法を用いて作製した(Er,Y)2SiO5の評価
霞 朋樹電通大)・田中康仁シンクロン/電通大)・一色秀夫電通大OPE2020-69 LQE2020-49
抄録 (和) 集積回路の金属配線による問題を解決するため,光集積回路の実現に向けて,集積可能な光デバイスの研究が進められている.その中で,Si基板上に集積可能で,既にあるCMOSプロセスの技術で光集積回路形成が可能であるシリコンフォトニクスが注目されている.シリコンフォトニクスに用いる光増幅媒質として(Er,Y)2SiO5結晶があるが,これまでデバイス作製に適した作製方法がなかった.本研究ではRAS(Radical Assisted Sputtering)法を基に多元系で組成比の制御性がよく,デバイス開発に適した作製方法を開発し,室温下で優れた発光特性を持ち高配向な(Er,Y)2SiO5結晶を作製した. 
(英) Research on integrated optical devices is underway toward the realization of optical integrated circuits. Among them, Si Photonics, which can be integrated on a Si substrate and can form an optical integrated circuit by the existing CMOS process technology, is attracting attention. There is a (Er,Y)2SiO5 crystal as an optical amplification medium used for Si Photonics, but until now there has been no suitable fabrication method for device fabrication. In this research, based on the RAS (Radical Assisted Sputtering) method, we have developed a fabrication method that is multidimensional and has good controllability of composition ratio and is suitable for device development. It has excellent luminescence characteristics at room temperature and is highly oriented (Er,Y)2SiO5 crystals were prepared.
キーワード (和) シリコンフォトニクス / RAS / (Er,Y)2SiO5 / / / / /  
(英) Si Photonics / RAS / (Er,Y)2SiO5 / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 120, no. 243, OPE2020-69, pp. 122-124, 2020年11月.
資料番号 OPE2020-69 
発行日 2020-11-13 (OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OPE2020-69 LQE2020-49

研究会情報
研究会 OPE LQE  
開催期間 2020-11-20 - 2020-11-20 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 学生によるポスターセッション(パッシブ/アクティブ光デバイス関連技術,一般) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2020-11-OPE-LQE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) RAS法を用いて作製した(Er,Y)2SiO5の評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Evaluation of (Er,Y)2SiO5 crystal prepared by Programmable Radical Assisted Sputtering 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) シリコンフォトニクス / Si Photonics  
キーワード(2)(和/英) RAS / RAS  
キーワード(3)(和/英) (Er,Y)2SiO5 / (Er,Y)2SiO5  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 霞 朋樹 / Tomoki Kasumi / カスミ トモキ
第1著者 所属(和/英) 電気通信大学 (略称: 電通大)
The University of Electro-Communications (略称: UEC)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 康仁 / Yasuhito Tanaka / タナカ ヤスヒト
第2著者 所属(和/英) 株式会社 シンクロン/電気通信大学 (略称: シンクロン/電通大)
SHINCRON Co./The University of Electro-Communications (略称: SHINCRON/UEC)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 一色 秀夫 / Hideo Isshiki / イッシキ ヒデオ
第3著者 所属(和/英) 電気通信大学 (略称: 電通大)
The University of Electro-Communications (略称: UEC)
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講演者
発表日時 2020-11-20 15:30:00 
発表時間 120 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-OPE2020-69,IEICE-LQE2020-49 
巻番号(vol) IEICE-120 
号番号(no) no.243(OPE), no.244(LQE) 
ページ範囲 pp.122-124 
ページ数 IEICE-3 
発行日 IEICE-OPE-2020-11-13,IEICE-LQE-2020-11-13 


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