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| 講演名 | 2020-11-20 15:30 縦型Siスロット導波路センサの研究 ○吉田周平・清水大雅（東京農工大）  OPE2020-67 LQE2020-47 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2020-67 LQE2020-47 |
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| 抄録 | （和） | IOT化に向け高感度ガスセンシング技術が必要とされている。ガスセンサへ応用されている従来のスロットガスセンサは横方向にSi細線導波路を2つ並べ、導波路間の空隙に光を閉じ込め検出する。感度はスロット部が狭いほどよく、微細加工技術の精度で決まる。本研究では、Si細線導波路と磁性ガーネットスラブ導波路層を空間を隔てて貼り合わせた縦型Siスロット導波路を提案する。等価屈折率法により、実効屈折率、センサ空間の光閉じ込め係数、および、磁性ガーネットの磁化を反転したときの実効屈折率の差を求めた。これらの値がセンサ空間の厚さとともに変化する様子と磁化反転に伴う透過光強度の変調を利用した高感度化について考察した。 |
| （英） | Highly sensitive gas sensors are required for IOT. Conventional horizontal Si slot waveguide gas sensors are composed of two Si wire waveguides, and confine the light in the slot of air gap part for detecting the difference of the gas concentration. The sensitivity is controlled by width of the slot. By making narrower slot, sensitivity can be improved. The slot width is determined by accuracy of the fabrication technology. In this research, we propose a vertical Si slot waveguide sensors by bonding Ce:YIG magnetic garnet slab waveguide on the Si wire waveguide with air gap. We calculated effective refractive index, optical confinement factor for slot part and the difference of the effective refractive index by magnetization reversal. We investigated the changes of these parameters due to thickness of slot and modulated transmitted light intensity toward higher sensitivity. | |
| キーワード | （和） | 光集積回路 / シリコンフォトニクス / スロット導波路 / ガスセンサ / 磁性体材料 / adhesive bonding / / |
| （英） | photonic integrated circuit / silicon photonics / slot waveguide / gas sensor / magnetic material / adhesive bonding / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 243, OPE2020-67, pp. 110-115, 2020年11月. | |
| 資料番号 | OPE2020-67 | |
| 発行日 | 2020-11-13 (OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2020-67 LQE2020-47 エレソ技報アーカイブへのリンク：OPE2020-67 LQE2020-47 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE LQE |
| 開催期間 | 2020-11-20 - 2020-11-20 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 学生によるポスターセッション（パッシブ/アクティブ光デバイス関連技術，一般） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2020-11-OPE-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 縦型Siスロット導波路センサの研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Research on Vertical Si Slot Waveguide Sensors |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光集積回路 / photonic integrated circuit |
| キーワード(2)（和/英） | シリコンフォトニクス / silicon photonics |
| キーワード(3)（和/英） | スロット導波路 / slot waveguide |
| キーワード(4)（和/英） | ガスセンサ / gas sensor |
| キーワード(5)（和/英） | 磁性体材料 / magnetic material |
| キーワード(6)（和/英） | adhesive bonding / adhesive bonding |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 周平 / Shuhei Yoshida / ヨシダ シュウヘイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京農工大工 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo univ. of agri. & tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 大雅 / Hiromasa Shimizu / シミズ ヒロマサ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京農工大工 (略称： 東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology (略称： Tokyo univ. of agri. & tech.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2020-11-20 15:30:00 |
| 発表時間 | 120分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2020-67, LQE2020-47 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.243(OPE), no.244(LQE) |
| ページ範囲 | pp.110-115 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2020-11-13 (OPE, LQE) |
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