講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-11-13 15:45
高コヒーレンス波長掃引光源を用いた高精度形状測定 ○斉藤崇記(アンリツ) OFT2020-43 |
抄録 |
(和) |
高コヒーレンス波長掃引光源を利用したOFDR方式による、高精度3D形状測定器を開発した。この3D形状測定器は、コリメータレンズ位置を原点として、0mから3mの範囲の絶対距離を0.2μmの精度で測定可能であり、コリメータレンズの向きを上下左右に走査することにより、対象物の3D形状を測定できる。 |
(英) |
We developed a 3D shape measurement system with OFDR using a high coherence wavelength swept light source. The 3D shape measurement system can measure absolute distance whose range of from 0m to 3m with 0.2 μm precision, and can measure 3D shape by scanning direction of the collimator lens . |
キーワード |
(和) |
OFDR / FMCW / 3D形状 / 掃引光源 / コヒーレンス / / / |
(英) |
OFDR / FMCW / 3D Shape / Swept light source / Coherence / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 120, no. 230, OFT2020-43, pp. 33-38, 2020年11月. |
資料番号 |
OFT2020-43 |
発行日 |
2020-11-05 (OFT) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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OFT2020-43 |